Seramik silikon karbida (SiC) berketulenan tinggi telah muncul sebagai bahan ideal untuk komponen kritikal dalam industri semikonduktor, aeroangkasa dan kimia kerana kekonduksian terma, kestabilan kimia dan kekuatan mekanikalnya yang luar biasa. Dengan peningkatan permintaan untuk peranti seramik berprestasi tinggi dan pencemaran rendah, pembangunan teknologi penyediaan yang cekap dan boleh diskala untuk seramik SiC berketulenan tinggi telah menjadi tumpuan penyelidikan global. Kertas kerja ini secara sistematik mengkaji semula kaedah penyediaan utama semasa untuk seramik SiC berketulenan tinggi, termasuk pensinteran penghabluran semula, pensinteran tanpa tekanan (PS), penekanan panas (HP), pensinteran plasma percikan api (SPS) dan pembuatan bahan tambahan (AM), dengan penekanan pada perbincangan mekanisme pensinteran, parameter utama, sifat bahan dan cabaran sedia ada bagi setiap proses.
Penggunaan seramik SiC dalam bidang ketenteraan dan kejuruteraan
Pada masa ini, komponen seramik SiC berketulenan tinggi digunakan secara meluas dalam peralatan pembuatan wafer silikon, yang terlibat dalam proses teras seperti pengoksidaan, litografi, pengetsaan dan implantasi ion. Dengan kemajuan teknologi wafer, peningkatan saiz wafer telah menjadi trend yang ketara. Saiz wafer arus perdana semasa ialah 300 mm, mencapai keseimbangan yang baik antara kos dan kapasiti pengeluaran. Walau bagaimanapun, didorong oleh Hukum Moore, pengeluaran besar-besaran wafer 450 mm sudah menjadi agenda. Wafer yang lebih besar biasanya memerlukan kekuatan struktur yang lebih tinggi untuk menahan lengkungan dan ubah bentuk, seterusnya memacu permintaan yang semakin meningkat untuk komponen seramik SiC bersaiz besar, berkekuatan tinggi dan berketulenan tinggi. Dalam beberapa tahun kebelakangan ini, pembuatan bahan tambahan (percetakan 3D), sebagai teknologi prototaip pantas yang tidak memerlukan acuan, telah menunjukkan potensi yang luar biasa dalam fabrikasi bahagian seramik SiC berstruktur kompleks disebabkan oleh pembinaan lapisan demi lapisan dan keupayaan reka bentuk yang fleksibel, yang menarik perhatian meluas.
Kertas kerja ini akan menganalisis secara sistematik lima kaedah penyediaan perwakilan untuk seramik SiC berketulenan tinggi—sintering penghabluran semula, sintering tanpa tekanan, penekanan panas, sintering plasma percikan api dan pembuatan bahan tambahan—dengan memberi tumpuan kepada mekanisme sintering, strategi pengoptimuman proses, ciri prestasi bahan dan prospek aplikasi perindustrian.
Keperluan bahan mentah silikon karbida berketulenan tinggi
I. Sintering Penghabluran Semula
Silikon karbida terhablur semula (RSiC) ialah bahan SiC berketulenan tinggi yang disediakan tanpa bantuan pensinteran pada suhu tinggi 2100–2500°C. Sejak Fredriksson pertama kali menemui fenomena penghabluran semula pada akhir abad ke-19, RSiC telah mendapat perhatian yang ketara kerana sempadan butirannya yang bersih dan ketiadaan fasa dan bendasing kaca. Pada suhu tinggi, SiC mempamerkan tekanan wap yang agak tinggi, dan mekanisme pensinterannya terutamanya melibatkan proses penyejatan-kondensasi: butiran halus menyejat dan mendapan semula pada permukaan butiran yang lebih besar, menggalakkan pertumbuhan leher dan ikatan langsung antara butiran, sekali gus meningkatkan kekuatan bahan.
Pada tahun 1990, Kriegesmann menyediakan RSiC dengan ketumpatan relatif 79.1% menggunakan tuangan gel pada suhu 2200°C, dengan keratan rentas menunjukkan mikrostruktur yang terdiri daripada butiran kasar dan liang. Seterusnya, Yi et al. menggunakan tuangan gel untuk menyediakan jasad hijau dan menyinterkannya pada suhu 2450°C, menghasilkan seramik RSiC dengan ketumpatan pukal 2.53 g/cm³ dan kekuatan lenturan 55.4 MPa.
Permukaan patah SEM RSiC
Berbanding dengan SiC yang padat, RSiC mempunyai ketumpatan yang lebih rendah (kira-kira 2.5 g/cm³) dan kira-kira 20% keliangan terbuka, sekali gus mengehadkan prestasinya dalam aplikasi kekuatan tinggi. Oleh itu, peningkatan ketumpatan dan sifat mekanikal RSiC telah menjadi fokus penyelidikan utama. Sung et al. mencadangkan penyusupan silikon cair ke dalam padatan campuran karbon/β-SiC dan penghabluran semula pada suhu 2200°C, berjaya membina struktur rangkaian yang terdiri daripada butiran kasar α-SiC. RSiC yang terhasil mencapai ketumpatan 2.7 g/cm³ dan kekuatan lenturan 134 MPa, mengekalkan kestabilan mekanikal yang sangat baik pada suhu tinggi.
Untuk meningkatkan lagi ketumpatan, Guo et al. menggunakan teknologi penyusupan dan pirolisis polimer (PIP) untuk pelbagai rawatan RSiC. Menggunakan larutan PCS/xilena dan buburan SiC/PCS/xilena sebagai penyusupan, selepas 3–6 kitaran PIP, ketumpatan RSiC telah meningkat dengan ketara (sehingga 2.90 g/cm³), berserta kekuatan lenturannya. Di samping itu, mereka mencadangkan strategi kitaran yang menggabungkan PIP dan penghabluran semula: pirolisis pada 1400°C diikuti dengan penghabluran semula pada 2400°C, dengan berkesan membersihkan sekatan zarah dan mengurangkan keliangan. Bahan RSiC akhir mencapai ketumpatan 2.99 g/cm³ dan kekuatan lenturan 162.3 MPa, menunjukkan prestasi komprehensif yang cemerlang.
Imej SEM bagi evolusi mikrostruktur RSiC yang digilap selepas kitaran pengimpregnasian polimer dan pirolisis (PIP)-penghabluran semula: RSiC awal (A), selepas kitaran penghabluran semula PIP pertama (B), dan selepas kitaran ketiga (C)
II. Sintering Tanpa Tekanan
Seramik silikon karbida (SiC) yang disinter tanpa tekanan biasanya disediakan menggunakan serbuk SiC ultrahalus berketulenan tinggi sebagai bahan mentah, dengan sedikit bantuan sintering ditambah, dan disinter dalam atmosfera lengai atau vakum pada suhu 1800–2150°C. Kaedah ini sesuai untuk menghasilkan komponen seramik bersaiz besar dan berstruktur kompleks. Walau bagaimanapun, memandangkan SiC terutamanya terikat secara kovalen, pekali resapan kendirinya adalah sangat rendah, menjadikan penumpatan sukar tanpa bantuan sintering.
Berdasarkan mekanisme pensinteran, pensinteran tanpa tekanan boleh dibahagikan kepada dua kategori: pensinteran fasa cecair tanpa tekanan (PLS-SiC) dan pensinteran keadaan pepejal tanpa tekanan (PSS-SiC).
1.1 PLS-SiC (Pensinteran Fasa Cecair)
PLS-SiC biasanya disinter di bawah suhu 2000°C dengan menambah kira-kira 10% berat bahan bantu sintering eutektik (seperti Al₂O₃, CaO, MgO, TiO₂ dan oksida nadir bumi RE₂O₃) untuk membentuk fasa cecair, menggalakkan penyusunan semula zarah dan pemindahan jisim untuk mencapai penumpatan. Proses ini sesuai untuk seramik SiC gred perindustrian, tetapi tiada laporan tentang SiC berketulenan tinggi yang dicapai melalui sintering fasa cecair.
1.2 PSS-SiC (Pensinteran Keadaan Pepejal)
PSS-SiC melibatkan pemadatan keadaan pepejal pada suhu melebihi 2000°C dengan kira-kira 1% berat bahan tambahan. Proses ini bergantung terutamanya pada resapan atom dan penyusunan semula butiran yang didorong oleh suhu tinggi untuk mengurangkan tenaga permukaan dan mencapai pemadatan. Sistem BC (boron-karbon) ialah kombinasi bahan tambahan yang biasa, yang boleh menurunkan tenaga sempadan butiran dan menyingkirkan SiO₂ daripada permukaan SiC. Walau bagaimanapun, bahan tambahan BC tradisional sering memperkenalkan bendasing sisa, sekali gus mengurangkan ketulenan SiC.
Dengan mengawal kandungan bahan tambahan (B 0.4 wt.%, C 1.8 wt.%) dan pensinteran pada 2150°C selama 0.5 jam, seramik SiC berketulenan tinggi dengan ketulenan 99.6 wt.% dan ketumpatan relatif 98.4% telah diperoleh. Mikrostruktur menunjukkan butiran kolumnar (sesetengahnya melebihi 450 µm panjang), dengan liang kecil pada sempadan butiran dan zarah grafit di dalam butiran. Seramik mempamerkan kekuatan lenturan 443 ± 27 MPa, modulus elastik 420 ± 1 GPa, dan pekali pengembangan haba 3.84 × 10⁻⁶ K⁻¹ dalam julat suhu bilik hingga 600°C, menunjukkan prestasi keseluruhan yang sangat baik.
Mikrostruktur PSS-SiC: (A) Imej SEM selepas penggilapan dan pengetsaan NaOH; (BD) Imej BSD selepas penggilapan dan pengetsaan
III. Sintering Tekan Panas
Sintering tekanan panas (HP) ialah teknik pemadatan yang secara serentak mengenakan haba dan tekanan uniaksial pada bahan serbuk di bawah keadaan suhu tinggi dan tekanan tinggi. Tekanan tinggi dengan ketara menghalang pembentukan liang dan mengehadkan pertumbuhan butiran, manakala suhu tinggi menggalakkan gabungan butiran dan pembentukan struktur padat, akhirnya menghasilkan seramik SiC berketumpatan tinggi dan berketumpatan tinggi. Disebabkan sifat penekanan berarah, proses ini cenderung mendorong anisotropi butiran, yang menjejaskan sifat mekanikal dan haus.
Seramik SiC tulen sukar untuk dipadatkan tanpa bahan tambahan, memerlukan pensinteran tekanan ultra tinggi. Nadeau et al. berjaya menyediakan SiC tumpat sepenuhnya tanpa bahan tambahan pada 2500°C dan 5000 MPa; Sun et al. memperoleh bahan pukal β-SiC dengan kekerasan Vickers sehingga 41.5 GPa pada 25 GPa dan 1400°C. Menggunakan tekanan 4 GPa, seramik SiC dengan ketumpatan relatif kira-kira 98% dan 99%, kekerasan 35 GPa, dan modulus elastik 450 GPa telah disediakan pada 1500°C dan 1900°C, masing-masing. Serbuk SiC bersaiz mikron pensinteran pada 5 GPa dan 1500°C menghasilkan seramik dengan kekerasan 31.3 GPa dan ketumpatan relatif 98.4%.
Walaupun keputusan ini menunjukkan bahawa tekanan ultra tinggi boleh mencapai ketumpatan bebas bahan tambahan, kerumitan dan kos peralatan yang tinggi menghadkan aplikasi perindustrian. Oleh itu, dalam penyediaan praktikal, bahan tambahan surih atau granulasi serbuk sering digunakan untuk meningkatkan daya penggerak pensinteran.
Dengan menambah resin fenolik 4 wt.% sebagai bahan tambahan dan pensinteran pada 2350°C dan 50 MPa, seramik SiC dengan kadar penumpatan 92% dan ketulenan 99.998% telah diperoleh. Menggunakan jumlah bahan tambahan yang rendah (asid borik dan D-fruktosa) dan pensinteran pada 2050°C dan 40 MPa, SiC ketulenan tinggi dengan ketumpatan relatif >99.5% dan kandungan B sisa hanya 556 ppm telah disediakan. Imej SEM menunjukkan bahawa, berbanding sampel yang disinter tanpa tekanan, sampel yang ditekan panas mempunyai butiran yang lebih kecil, liang yang lebih sedikit, dan ketumpatan yang lebih tinggi. Kekuatan lenturan ialah 453.7 ± 44.9 MPa, dan modulus elastik mencapai 444.3 ± 1.1 GPa.
Dengan melanjutkan masa pegangan pada suhu 1900°C, saiz butiran meningkat daripada 1.5 μm kepada 1.8 μm, dan kekonduksian terma bertambah baik daripada 155 kepada 167 W·m⁻¹·K⁻¹, di samping meningkatkan rintangan kakisan plasma.
Di bawah keadaan 1850°C dan 30 MPa, penekanan panas dan penekanan panas pantas bagi serbuk SiC berbutir dan anil menghasilkan seramik β-SiC yang padat sepenuhnya tanpa sebarang bahan tambahan, dengan ketumpatan 3.2 g/cm³ dan suhu pensinteran 150–200°C lebih rendah daripada proses tradisional. Seramik mempamerkan kekerasan 2729 GPa, ketahanan patah 5.25–5.30 MPa·m^1/2, dan rintangan rayapan yang sangat baik (kadar rayapan 9.9 × 10⁻¹⁰ s⁻¹ dan 3.8 × 10⁻⁹ s⁻¹ pada 1400°C/1450°C dan 100 MPa).
(A) Imej SEM permukaan yang digilap; (B) Imej SEM permukaan rekahan; (C, D) Imej BSD permukaan yang digilap
Dalam penyelidikan percetakan 3D untuk seramik piezoelektrik, buburan seramik, sebagai faktor teras yang mempengaruhi pembentukan dan prestasi, telah menjadi tumpuan utama di dalam dan luar negara. Kajian semasa secara amnya menunjukkan bahawa parameter seperti saiz zarah serbuk, kelikatan buburan dan kandungan pepejal mempengaruhi kualiti pembentukan dan sifat piezoelektrik produk akhir dengan ketara.
Kajian mendapati bahawa buburan seramik yang disediakan menggunakan serbuk barium titanat bersaiz mikron, submikron, dan nano menunjukkan perbezaan yang ketara dalam proses stereolitografi (contohnya, LCD-SLA). Apabila saiz zarah berkurangan, kelikatan buburan meningkat dengan ketara, dengan serbuk bersaiz nano menghasilkan buburan dengan kelikatan yang mencapai berbilion mPa·s. Bubur dengan serbuk bersaiz mikron terdedah kepada penyingkiran dan pengelupasan semasa pencetakan, manakala serbuk submikron dan bersaiz nano menunjukkan tingkah laku pembentukan yang lebih stabil. Selepas pensinteran suhu tinggi, sampel seramik yang terhasil mencapai ketumpatan 5.44 g/cm³, pekali piezoelektrik (d₃₃) kira-kira 200 pC/N, dan faktor kehilangan yang rendah, mempamerkan sifat tindak balas elektromekanikal yang sangat baik.
Selain itu, dalam proses mikro-stereolitografi, pelarasan kandungan pepejal buburan jenis PZT (contohnya, 75 wt.%) menghasilkan jasad tersinter dengan ketumpatan 7.35 g/cm³, mencapai pemalar piezoelektrik sehingga 600 pC/N di bawah medan elektrik poling. Penyelidikan mengenai pampasan ubah bentuk skala mikro telah meningkatkan ketepatan pembentukan dengan ketara, meningkatkan ketepatan geometri sehingga 80%.
Satu lagi kajian mengenai seramik piezoelektrik PMN-PT mendedahkan bahawa kandungan pepejal secara kritikal mempengaruhi struktur dan sifat elektrik seramik. Pada kandungan pepejal 80 wt.%, hasil sampingan mudah muncul dalam seramik; apabila kandungan pepejal meningkat kepada 82 wt.% dan ke atas, hasil sampingan secara beransur-ansur hilang, dan struktur seramik menjadi lebih tulen, dengan prestasi yang dipertingkatkan dengan ketara. Pada 82 wt.%, seramik mempamerkan sifat elektrik yang optimum: pemalar piezoelektrik 730 pC/N, kebolehtelapan relatif 7226, dan kehilangan dielektrik hanya 0.07.
Secara ringkasnya, saiz zarah, kandungan pepejal dan sifat reologi buburan seramik bukan sahaja mempengaruhi kestabilan dan ketepatan proses pencetakan tetapi juga menentukan secara langsung ketumpatan dan tindak balas piezoelektrik jasad tersinter, menjadikannya parameter utama untuk mencapai seramik piezoelektrik bercetak 3D berprestasi tinggi.
Proses utama pencetakan 3D LCD-SLA bagi sampel BT/UV
Sifat-sifat seramik PMN-PT dengan kandungan pepejal yang berbeza
IV. Sintering Plasma Percikan
Sintering plasma percikan api (SPS) ialah teknologi sintering canggih yang menggunakan arus berdenyut dan tekanan mekanikal yang dikenakan secara serentak pada serbuk untuk mencapai penumpuan yang pantas. Dalam proses ini, arus memanaskan acuan dan serbuk secara langsung, menghasilkan haba Joule dan plasma, membolehkan sintering yang cekap dalam masa yang singkat (biasanya dalam masa 10 minit). Pemanasan pantas menggalakkan resapan permukaan, manakala nyahcas percikan api membantu menyingkirkan gas dan lapisan oksida yang terserap daripada permukaan serbuk, meningkatkan prestasi sintering. Kesan elektromigrasi yang disebabkan oleh medan elektromagnet juga meningkatkan resapan atom.
Berbanding dengan penekanan panas tradisional, SPS menggunakan lebih banyak pemanasan langsung, membolehkan pemadatan pada suhu yang lebih rendah sambil berkesan menghalang pertumbuhan butiran untuk mendapatkan mikrostruktur yang halus dan seragam. Contohnya:
- Tanpa bahan tambahan, menggunakan serbuk SiC kisar sebagai bahan mentah, pensinteran pada suhu 2100°C dan 70 MPa selama 30 minit menghasilkan sampel dengan ketumpatan relatif 98%.
- Pensinteran pada suhu 1700°C dan 40 MPa selama 10 minit menghasilkan SiC padu dengan ketumpatan 98% dan saiz butiran hanya 30–50 nm.
- Menggunakan serbuk SiC berbutir 80 µm dan pensinteran pada suhu 1860°C dan 50 MPa selama 5 minit menghasilkan seramik SiC berprestasi tinggi dengan ketumpatan relatif 98.5%, kekerasan mikro Vickers 28.5 GPa, kekuatan lenturan 395 MPa dan keliatan patah 4.5 MPa·m^1/2.
Analisis mikrostruktur menunjukkan bahawa apabila suhu pensinteran meningkat dari 1600°C kepada 1860°C, keliangan bahan menurun dengan ketara, menghampiri ketumpatan penuh pada suhu tinggi.
Mikrostruktur seramik SiC yang disinter pada suhu yang berbeza: (A) 1600°C, (B) 1700°C, (C) 1790°C dan (D) 1860°C
V. Pembuatan Aditif
Pembuatan bahan tambahan (AM) baru-baru ini telah menunjukkan potensi yang luar biasa dalam fabrikasi komponen seramik kompleks disebabkan oleh proses pembinaan lapisan demi lapisannya. Bagi seramik SiC, pelbagai teknologi AM telah dibangunkan, termasuk jet pengikat (BJ), 3DP, pensinteran laser terpilih (SLS), penulisan dakwat langsung (DIW), dan stereolitografi (SL, DLP). Walau bagaimanapun, 3DP dan DIW mempunyai ketepatan yang lebih rendah, manakala SLS cenderung untuk mendorong tekanan haba dan retakan. Sebaliknya, BJ dan SL menawarkan kelebihan yang lebih besar dalam menghasilkan seramik kompleks berketulenan tinggi dan berketepatan tinggi.
- Penjetan Pengikat (BJ)
Teknologi BJ melibatkan penyemburan lapisan demi lapisan serbuk pengikat kepada ikatan, diikuti dengan penyahikat dan pensinteran untuk mendapatkan produk seramik akhir. Menggabungkan BJ dengan penyusupan wap kimia (CVI), seramik SiC kristal sepenuhnya berketulenan tinggi telah berjaya disediakan. Proses ini merangkumi:
① Membentuk jasad hijau seramik SiC menggunakan BJ.
② Penumpatan melalui CVI pada 1000°C dan 200 Torr.
③ Seramik SiC akhir mempunyai ketumpatan 2.95 g/cm³, kekonduksian terma 37 W/m·K, dan kekuatan lenturan 297 MPa.
Gambarajah skematik pencetakan jet pelekat (BJ). (A) Model reka bentuk bantuan komputer (CAD), (B) gambarajah skematik prinsip BJ, (C) pencetakan SiC oleh BJ, (D) pemadatan SiC melalui penyusupan wap kimia (CVI)
- Stereolitografi (SL)
SL ialah teknologi pembentukan seramik berasaskan pengawetan UV dengan ketepatan yang sangat tinggi dan keupayaan fabrikasi struktur yang kompleks. Kaedah ini menggunakan buburan seramik fotosensitif dengan kandungan pepejal yang tinggi dan kelikatan yang rendah untuk membentuk jasad hijau seramik 3D melalui pempolimeran foto, diikuti dengan penyahikat dan pensinteran suhu tinggi untuk mendapatkan produk akhir.
Menggunakan buburan SiC 35 vol.%, jasad hijau 3D berkualiti tinggi telah disediakan di bawah penyinaran UV 405 nm dan dipadatkan lagi melalui pembakaran polimer pada suhu 800°C dan rawatan PIP. Keputusan menunjukkan bahawa sampel yang disediakan dengan buburan 35 vol.% mencapai ketumpatan relatif sebanyak 84.8%, mengatasi kumpulan kawalan 30% dan 40%.
Dengan memperkenalkan SiO₂ lipofilik dan resin epoksi fenolik (PEA) untuk mengubah suai buburan, prestasi fotopolimerisasi telah dipertingkatkan dengan berkesan. Selepas pensinteran pada suhu 1600°C selama 4 jam, penukaran hampir lengkap kepada SiC telah dicapai, dengan kandungan oksigen akhir hanya 0.12%, membolehkan fabrikasi satu langkah seramik SiC berstruktur kompleks dan berketulenan tinggi tanpa langkah pra-pengoksidaan atau pra-penyusupan.
Ilustrasi struktur pencetakan dan proses pensinterannya. Rupa sampel selepas pengeringan pada (A) 25°C, pirolisis pada (B) 1000°C, dan pensinteran pada (C) 1600°C.
Dengan mereka bentuk buburan seramik Si₃N₄ fotosensitif untuk pencetakan 3D stereolitografi dan menggunakan proses penyahikat-presintering dan penuaan suhu tinggi, seramik Si₃N₄ dengan ketumpatan teori 93.3%, kekuatan tegangan 279.8 MPa, dan kekuatan lenturan 308.5–333.2 MPa telah disediakan. Kajian mendapati bahawa di bawah keadaan kandungan pepejal 45 vol.% dan masa pendedahan 10 s, jasad hijau lapisan tunggal dengan ketepatan pengawetan tahap IT77 dapat diperoleh. Proses penyahikat suhu rendah dengan kadar pemanasan 0.1 °C/min membantu menghasilkan jasad hijau bebas retak.
Sintering merupakan langkah utama yang mempengaruhi prestasi akhir dalam stereolitografi. Kajian menunjukkan bahawa penambahan alat bantu sintering dapat meningkatkan ketumpatan seramik dan sifat mekanikal dengan berkesan. Menggunakan CeO₂ sebagai alat bantu sintering dan teknologi sintering berbantukan medan elektrik untuk menyediakan seramik Si₃N₄ berketumpatan tinggi, CeO₂ didapati terpisah pada sempadan butiran, menggalakkan gelongsor dan pemadatan sempadan butiran. Seramik yang terhasil mempamerkan kekerasan Vickers HV10/10 (1347.9 ± 2.4) dan keliatan patah (6.57 ± 0.07) MPa·m¹/². Dengan MgO–Y₂O₃ sebagai bahan tambahan, homogeniti mikrostruktur seramik telah dipertingkatkan, meningkatkan prestasi dengan ketara. Pada tahap doping keseluruhan 8 wt.%, kekuatan lenturan dan kekonduksian terma masing-masing mencapai 915.54 MPa dan 59.58 W·m⁻¹·K⁻¹.
VI. Kesimpulan
Secara ringkasnya, seramik silikon karbida (SiC) berketulenan tinggi, sebagai bahan seramik kejuruteraan yang cemerlang, telah menunjukkan prospek aplikasi yang luas dalam semikonduktor, aeroangkasa dan peralatan keadaan ekstrem. Kertas kerja ini menganalisis secara sistematik lima laluan penyediaan tipikal untuk seramik SiC berketulenan tinggi—sintering penghabluran semula, sintering tanpa tekanan, penekanan panas, sintering plasma percikan api dan pembuatan bahan tambahan—dengan perbincangan terperinci tentang mekanisme pemadatannya, pengoptimuman parameter utama, prestasi bahan dan kelebihan serta batasan masing-masing.
Jelaslah bahawa setiap proses yang berbeza mempunyai ciri-ciri unik dari segi mencapai ketulenan tinggi, ketumpatan tinggi, struktur kompleks dan kebolehlaksanaan perindustrian. Teknologi pembuatan aditif khususnya telah menunjukkan potensi yang kukuh dalam fabrikasi komponen berbentuk kompleks dan tersuai, dengan penemuan dalam subbidang seperti stereolitografi dan jet pengikat, menjadikannya hala tuju pembangunan yang penting untuk penyediaan seramik SiC berketulenan tinggi.
Kajian masa hadapan mengenai penyediaan seramik SiC berketulenan tinggi perlu dikaji lebih mendalam, menggalakkan peralihan daripada aplikasi kejuruteraan berskala makmal kepada berskala besar yang sangat andal, sekali gus menyediakan sokongan bahan kritikal untuk pembuatan peralatan mewah dan teknologi maklumat generasi akan datang.
XKH ialah sebuah perusahaan berteknologi tinggi yang mengkhusus dalam penyelidikan dan pengeluaran bahan seramik berprestasi tinggi. Ia berdedikasi untuk menyediakan penyelesaian tersuai untuk pelanggan dalam bentuk seramik silikon karbida (SiC) berketulenan tinggi. Syarikat ini mempunyai teknologi penyediaan bahan canggih dan keupayaan pemprosesan yang tepat. Perniagaannya merangkumi penyelidikan, pengeluaran, pemprosesan yang tepat dan rawatan permukaan seramik SiC berketulenan tinggi, memenuhi keperluan ketat semikonduktor, tenaga baharu, aeroangkasa dan bidang lain untuk komponen seramik berprestasi tinggi. Dengan memanfaatkan proses pensinteran matang dan teknologi pembuatan bahan tambahan, kami boleh menawarkan perkhidmatan sehenti kepada pelanggan daripada pengoptimuman formula bahan, pembentukan struktur kompleks kepada pemprosesan yang tepat, memastikan produk mempunyai sifat mekanikal, kestabilan terma dan rintangan kakisan yang sangat baik.
Masa siaran: 30 Julai 2025



-300x228.png)




1600°C、(B)1700°C、(C)1790°C-和(D)1860°C-300x223.png)

25°C-下干燥、(B)1000°C-下热解和(C)1600°C-下烧结后的外观-300x225.png)