Substrat silikon karbida dibahagikan kepada jenis separa penebat dan jenis konduktif. Pada masa ini, spesifikasi arus perdana produk substrat silikon karbida separa terlindung ialah 4 inci. Dalam pasaran silikon karbida konduktif, spesifikasi produk substrat arus perdana semasa ialah 6 inci.
Disebabkan oleh aplikasi hiliran dalam bidang RF, substrat SiC separa terlindung dan bahan epitaxial tertakluk kepada kawalan eksport oleh Jabatan Perdagangan AS. Separa terlindung SiC sebagai substrat adalah bahan pilihan untuk GaN heteroepitaxy dan mempunyai prospek aplikasi penting dalam medan gelombang mikro. Berbanding dengan ketidakpadanan kristal nilam 14% dan Si 16.9%, ketidakpadanan kristal bahan SiC dan GaN hanya 3.4%. Ditambah dengan kekonduksian terma ultra-tinggi SiC, LED kecekapan tenaga tinggi dan GaN frekuensi tinggi dan peranti gelombang mikro kuasa tinggi yang disediakan olehnya mempunyai kelebihan besar dalam radar, peralatan gelombang mikro kuasa tinggi dan sistem komunikasi 5G.
Penyelidikan dan pembangunan substrat SiC separa terlindung sentiasa menjadi tumpuan penyelidikan dan pembangunan substrat kristal tunggal SiC. Terdapat dua kesukaran utama dalam menanam bahan SiC separa terlindung:
1) Kurangkan kekotoran penderma N yang diperkenalkan oleh pijar grafit, penjerapan penebat haba dan doping dalam serbuk;
2) Sambil memastikan kualiti dan sifat elektrik kristal, pusat aras dalam diperkenalkan untuk mengimbangi kekotoran tahap cetek sisa dengan aktiviti elektrik.
Pada masa ini, pengeluar dengan kapasiti pengeluaran SiC separa terlindung adalah terutamanya SICC Co，Semisic Crystal Co，Tanke Blue Co, Hebei Synlight Crystal Co., Ltd.
Kristal SiC konduktif dicapai dengan menyuntik nitrogen ke dalam atmosfera yang semakin meningkat. Substrat karbida silikon konduktif digunakan terutamanya dalam pembuatan peranti kuasa, peranti kuasa silikon karbida dengan voltan tinggi, arus tinggi, suhu tinggi, frekuensi tinggi, kehilangan rendah dan kelebihan unik yang lain, akan meningkatkan penggunaan sedia ada tenaga peranti kuasa berasaskan silikon. kecekapan penukaran, mempunyai kesan yang ketara dan meluas dalam bidang penukaran tenaga yang cekap. Kawasan aplikasi utama ialah kenderaan elektrik/cerucuk pengecas, tenaga baharu fotovoltaik, transit rel, grid pintar dan sebagainya. Oleh kerana hiliran produk konduktif adalah terutamanya peranti kuasa dalam kenderaan elektrik, fotovoltaik dan medan lain, prospek aplikasi adalah lebih luas, dan pengeluar lebih banyak.
Jenis kristal silikon karbida: Struktur tipikal karbida silikon hablur 4H terbaik boleh dibahagikan kepada dua kategori, satu ialah jenis hablur silikon karbida padu struktur sphalerit, yang dikenali sebagai 3C-SiC atau β-SiC, dan satu lagi ialah heksagon. atau struktur berlian bagi struktur tempoh besar, yang tipikal bagi 6H-SiC, 4H-sic, 15R-SiC, dsb., secara kolektif dikenali sebagai α-SiC. 3C-SiC mempunyai kelebihan kerintangan tinggi dalam peranti pembuatan. Walau bagaimanapun, ketidakpadanan yang tinggi antara pemalar kekisi Si dan SiC dan pekali pengembangan haba boleh membawa kepada sejumlah besar kecacatan pada lapisan epitaxial 3C-SiC. 4H-SiC mempunyai potensi besar dalam pembuatan MOSFET, kerana pertumbuhan kristal dan proses pertumbuhan lapisan epitaxialnya lebih cemerlang, dan dari segi mobiliti elektron, 4H-SiC lebih tinggi daripada 3C-SiC dan 6H-SiC, memberikan ciri gelombang mikro yang lebih baik untuk 4H -MOSFET SiC.
Jika terdapat pelanggaran, hubungi padam
Masa siaran: Jul-16-2024