Apakah Maksud TTV, BOW, WARP dan TIR dalam Wafer?

Apabila memeriksa wafer silikon semikonduktor atau substrat yang diperbuat daripada bahan lain, kita sering menemui penunjuk teknikal seperti: TTV, BOW, WARP, dan mungkin TIR, STIR, LTV, antara lain. Apakah parameter yang diwakili ini?

TTV — Variasi Ketebalan Jumlah
BOW — Bow
WARP — Warp
TIR — Jumlah Bacaan Ditunjuk
STIR — Jumlah Bacaan Ditunjuk Tapak
LTV — Variasi Ketebalan Setempat

1. Variasi Ketebalan Jumlah — TTV

Perbezaan antara ketebalan maksimum dan minimum wafer berbanding satah rujukan apabila wafer diapit dan bersentuhan rapat. Ia biasanya dinyatakan dalam mikrometer (μm), selalunya diwakili sebagai: ≤15 μm.

2. Bow — BOW

Sisihan antara jarak minimum dan maksimum dari titik tengah permukaan wafer ke satah rujukan apabila wafer berada dalam keadaan bebas (tidak berkapit). Ini termasuk kedua-dua kes cekung (tunduk negatif) dan cembung (tunduk positif). Ia biasanya dinyatakan dalam mikrometer (μm), selalunya diwakili sebagai: ≤40 μm.

3. Meledingkan - meledingkan

Sisihan antara jarak minimum dan maksimum dari permukaan wafer ke satah rujukan (biasanya permukaan belakang wafer) apabila wafer berada dalam keadaan bebas (tidak berkapit). Ini termasuk kedua-dua kes cekung (meledingkan negatif) dan cembung (meledingkan positif). Ia biasanya dinyatakan dalam mikrometer (μm), selalunya diwakili sebagai: ≤30 μm.

4. Jumlah Bacaan Ditunjuk — TIR

Apabila wafer diapit dan bersentuhan rapat, menggunakan satah rujukan yang meminimumkan jumlah pintasan semua titik dalam kawasan kualiti atau kawasan setempat tertentu pada permukaan wafer, TIR ialah sisihan antara jarak maksimum dan minimum dari permukaan wafer ke satah rujukan ini.

Diasaskan atas kepakaran mendalam dalam spesifikasi bahan semikonduktor seperti TTV, BOW, WARP dan TIR, XKH menyediakan perkhidmatan pemprosesan wafer tersuai ketepatan yang disesuaikan dengan piawaian industri yang ketat. Kami membekalkan dan menyokong pelbagai jenis bahan berprestasi tinggi termasuk nilam, silikon karbida (SiC), wafer silikon, SOI dan kuarza, memastikan kerataan yang luar biasa, ketekalan ketebalan dan kualiti permukaan untuk aplikasi lanjutan dalam optoelektronik, peranti kuasa dan MEMS. Percayai kami untuk menyampaikan penyelesaian bahan yang boleh dipercayai dan pemesinan ketepatan yang memenuhi keperluan reka bentuk anda yang paling mencabar.