Wafer Nilam 12 Inci untuk Pembuatan Semikonduktor Bervolum Tinggi
Gambarajah Terperinci
Pengenalan wafer nilam 12 inci
Wafer nilam 12 inci direka bentuk untuk memenuhi permintaan yang semakin meningkat untuk pembuatan semikonduktor berdaya pemprosesan tinggi dan optoelektronik berkawasan luas. Memandangkan seni bina peranti terus berskala dan barisan pengeluaran bergerak ke arah format wafer yang lebih besar, substrat nilam dengan diameter ultra besar menawarkan kelebihan yang jelas dalam produktiviti, pengoptimuman hasil dan kawalan kos.
Diperbuat daripada Al₂O₃ kristal tunggal ketulenan tinggi, wafer nilam 12 inci kami menggabungkan kekuatan mekanikal, kestabilan terma dan kualiti permukaan yang sangat baik. Melalui pertumbuhan kristal yang dioptimumkan dan pemprosesan wafer ketepatan, substrat ini memberikan prestasi yang andal untuk aplikasi LED, GaN dan semikonduktor khas yang canggih.

Ciri-ciri Bahan
Nilam (aluminium oksida kristal tunggal, Al₂O₃) terkenal dengan sifat fizikal dan kimianya yang luar biasa. Wafer nilam 12 inci mewarisi semua kelebihan bahan nilam sambil menyediakan luas permukaan boleh guna yang jauh lebih besar.
Ciri-ciri bahan utama termasuk:
-
Kekerasan dan rintangan haus yang sangat tinggi
-
Kestabilan terma yang sangat baik dan takat lebur yang tinggi
-
Rintangan kimia yang unggul terhadap asid dan alkali
-
Ketelusan optik yang tinggi dari panjang gelombang UV ke IR
-
Sifat penebat elektrik yang sangat baik
Ciri-ciri ini menjadikan wafer nilam 12 inci sesuai untuk persekitaran pemprosesan yang keras dan proses pembuatan semikonduktor suhu tinggi.
Proses Pembuatan
Pengeluaran wafer nilam 12 inci memerlukan pertumbuhan kristal termaju dan teknologi pemprosesan ultra-ketepatan. Proses pembuatan biasa termasuk:
-
Pertumbuhan Kristal Tunggal
Kristal nilam berketulenan tinggi ditumbuhkan menggunakan kaedah canggih seperti KY atau teknologi pertumbuhan kristal berdiameter besar yang lain, bagi memastikan orientasi kristal yang seragam dan tekanan dalaman yang rendah. -
Pembentukan dan Penghirisan Kristal
Jongkong nilam dibentuk dan dihiris dengan tepat menjadi wafer 12 inci menggunakan peralatan pemotong berketepatan tinggi untuk meminimumkan kerosakan bawah permukaan. -
Mengelap dan Menggilap
Proses lapping berbilang langkah dan penggilapan mekanikal kimia (CMP) digunakan untuk mencapai kekasaran permukaan, kerataan dan keseragaman ketebalan yang sangat baik. -
Pembersihan dan Pemeriksaan
Setiap wafer nilam 12 inci menjalani pembersihan menyeluruh dan pemeriksaan ketat, termasuk kualiti permukaan, TTV, busur, lungsin dan analisis kecacatan.
Aplikasi
Wafer nilam 12 inci digunakan secara meluas dalam teknologi canggih dan baru muncul, termasuk:
-
Substrat LED berkuasa tinggi dan kecerahan tinggi
-
Peranti kuasa berasaskan GaN dan peranti RF
-
Pembawa peralatan semikonduktor dan substrat penebat
-
Tingkap optik dan komponen optik kawasan luas
-
Pembungkusan semikonduktor lanjutan dan pembawa proses khas
Diameter yang besar membolehkan daya pemprosesan yang lebih tinggi dan kecekapan kos yang lebih baik dalam pengeluaran besar-besaran.
Kelebihan Wafer Safir 12 Inci
-
Kawasan boleh guna yang lebih besar untuk output peranti yang lebih tinggi bagi setiap wafer
-
Ketekalan dan keseragaman proses yang dipertingkatkan
-
Kos setiap peranti dikurangkan dalam pengeluaran volum tinggi
-
Kekuatan mekanikal yang sangat baik untuk pengendalian bersaiz besar
-
Spesifikasi yang boleh disesuaikan untuk aplikasi yang berbeza

Pilihan Penyesuaian
Kami menawarkan penyesuaian fleksibel untuk wafer nilam 12 inci, termasuk:
-
Orientasi kristal (satah-C, satah-A, satah-R, dll.)
-
Toleransi ketebalan dan diameter
-
Penggilapan satu sisi atau dua sisi
-
Profil tepi dan reka bentuk chamfer
-
Keperluan kekasaran dan kerataan permukaan
| Parameter | Spesifikasi | Nota |
|---|---|---|
| Diameter Wafer | 12 inci (300 mm) | Wafer berdiameter besar standard |
| Bahan | Nilam Kristal Tunggal (Al₂O₃) | Gred elektronik/optik yang berketulenan tinggi |
| Orientasi Kristal | Satah C (0001), Satah A (11-20), Satah R (1-102) | Orientasi pilihan tersedia |
| Ketebalan | 430–500 μm | Ketebalan tersuai tersedia atas permintaan |
| Toleransi Ketebalan | ±10 μm | Toleransi ketat untuk peranti canggih |
| Variasi Ketebalan Keseluruhan (TTV) | ≤10 μm | Memastikan pemprosesan seragam merentasi wafer |
| Busur | ≤50 μm | Diukur ke atas keseluruhan wafer |
| Meledingkan | ≤50 μm | Diukur ke atas keseluruhan wafer |
| Kemasan Permukaan | Digilap satu sisi (SSP) / Digilap dua sisi (DSP) | Permukaan berkualiti optik tinggi |
| Kekasaran Permukaan (Ra) | ≤0.5 nm (digilap) | Kelancaran peringkat atom untuk pertumbuhan epitaksi |
| Profil Tepi | Tepi Serong / Bulat | Untuk mengelakkan keretakan semasa pengendalian |
| Ketepatan Orientasi | ±0.5° | Memastikan pertumbuhan lapisan epitaksial yang betul |
| Ketumpatan Kecacatan | <10 cm⁻² | Diukur melalui pemeriksaan optik |
| Kerataan | ≤2 µm / 100 mm | Memastikan litografi dan pertumbuhan epitaksi yang seragam |
| Kebersihan | Kelas 100 – Kelas 1000 | Serasi dengan bilik bersih |
| Penghantaran Optik | >85% (UV–IR) | Bergantung pada panjang gelombang dan ketebalan |
Soalan Lazim Wafer Nilam 12 Inci
S1: Apakah ketebalan standard wafer nilam 12 inci?
A: Ketebalan standard adalah antara 430 μm hingga 500 μm. Ketebalan tersuai juga boleh dihasilkan mengikut keperluan pelanggan.
S2: Apakah orientasi kristal yang tersedia untuk wafer nilam 12 inci?
A: Kami menawarkan orientasi satah-C (0001), satah-A (11-20), dan satah-R (1-102). Orientasi lain boleh disesuaikan berdasarkan keperluan peranti tertentu.
S3: Apakah variasi ketebalan keseluruhan (TTV) wafer tersebut?
A: Wafer nilam 12 inci kami biasanya mempunyai TTV ≤10 μm, memastikan keseragaman merentasi keseluruhan permukaan wafer untuk fabrikasi peranti berkualiti tinggi.
Tentang Kami
XKH pakar dalam pembangunan, pengeluaran dan penjualan kaca optik khas dan bahan kristal baharu yang berteknologi tinggi. Produk kami menawarkan elektronik optik, elektronik pengguna dan ketenteraan. Kami menawarkan komponen optik nilam, penutup kanta telefon bimbit, Seramik, LT, Silikon Karbida SIC, Kuarza dan wafer kristal semikonduktor. Dengan kepakaran mahir dan peralatan canggih, kami cemerlang dalam pemprosesan produk bukan standard, bertujuan untuk menjadi perusahaan berteknologi tinggi bahan optoelektronik yang terkemuka.










