Wafer Kuarza Bercantum Ketulenan Tinggi untuk Aplikasi Optik Semikonduktor, Fotonik 2″4″6″8″12″
Gambarajah Terperinci
Gambaran Keseluruhan Kaca Kuarza
Wafer kuarza membentuk tulang belakang pelbagai peranti moden yang memacu dunia digital masa kini. Daripada navigasi dalam telefon pintar anda hinggalah tulang belakang stesen pangkalan 5G, kuarza secara senyap-senyap memberikan kestabilan, ketulenan dan ketepatan yang diperlukan dalam elektronik dan fotonik berprestasi tinggi. Sama ada menyokong litar fleksibel, mendayakan sensor MEMS atau membentuk asas untuk pengkomputeran kuantum, ciri-ciri unik kuarza menjadikannya sangat diperlukan di seluruh industri.
"Silika Terlakur" atau "Kuarza Terlakur" yang merupakan fasa amorfus kuarza (SiO2). Apabila dibandingkan dengan kaca borosilikat, silika terlakur tidak mempunyai bahan tambahan; oleh itu ia wujud dalam bentuk tulennya, SiO2. Silika terlakur mempunyai transmisi yang lebih tinggi dalam spektrum inframerah dan ultraungu berbanding kaca biasa. Silika terlakur dihasilkan dengan meleburkan dan memejalkan semula SiO2 ultratulen. Sebaliknya, silika terlakur sintetik diperbuat daripada prekursor kimia kaya silikon seperti SiCl4 yang digaskan dan kemudian dioksidakan dalam atmosfera H2 + O2. Debu SiO2 yang terbentuk dalam kes ini dilakur kepada silika pada substrat. Blok silika terlakur dipotong menjadi wafer dan selepas itu wafer akhirnya digilap.
Ciri-ciri Utama dan Manfaat Wafer Kaca Kuarza
-
Ketulenan Ultra Tinggi (≥99.99% SiO2)
Sesuai untuk proses semikonduktor dan fotonik ultra-bersih di mana pencemaran bahan mesti diminimumkan. -
Julat Operasi Terma yang Luas
Mengekalkan integriti struktur daripada suhu kriogenik sehingga lebih 1100°C tanpa melengkung atau degradasi. -
Penghantaran UV dan IR yang Cemerlang
Memberikan kejelasan optik yang sangat baik daripada ultraungu dalam (DUV) hingga inframerah dekat (NIR), menyokong aplikasi optik jitu. -
Pekali Pengembangan Terma Rendah
Meningkatkan kestabilan dimensi di bawah turun naik suhu, mengurangkan tekanan dan meningkatkan kebolehpercayaan proses. -
Rintangan Kimia Unggul
Lengai terhadap kebanyakan asid, alkali dan pelarut—menjadikannya sesuai untuk persekitaran yang agresif secara kimia. -
Fleksibiliti Kemasan Permukaan
Tersedia dengan kemasan digilap ultra licin, satu sisi atau dua sisi, serasi dengan keperluan fotonik dan MEMS.
Proses Pembuatan Wafer Kaca Kuarza
Wafer kuarza terlakur dihasilkan melalui beberapa langkah terkawal dan tepat:
-
Pemilihan Bahan Mentah
Pemilihan sumber kuarza semula jadi berketulenan tinggi atau SiO₂ sintetik. -
Peleburan dan Penggabungan
Kuarza dicairkan pada suhu ~2000°C dalam relau elektrik di bawah atmosfera terkawal untuk menghapuskan rangkuman dan buih. -
Pembentukan Blok
Silika cair disejukkan menjadi blok pepejal atau jongkong. -
Penghirisan Wafer
Gergaji berlian atau dawai jitu digunakan untuk memotong jongkong menjadi kepingan wafer kosong. -
Mengelap & Menggilap
Kedua-dua permukaan diratakan dan digilap untuk memenuhi spesifikasi optik, ketebalan dan kekasaran yang tepat. -
Pembersihan & Pemeriksaan
Wafer dibersihkan di bilik bersih ISO Kelas 100/1000 dan tertakluk kepada pemeriksaan rapi untuk kecacatan dan pematuhan dimensi.
Sifat-sifat Wafer Kaca Kuarza
| spesifikasi | unit | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Diameter / saiz (atau segi empat sama) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Toleransi (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Ketebalan | mm | 0.10 atau lebih | 0.30 atau lebih | 0.40 atau lebih | 0.50 atau lebih | 0.50 atau lebih |
| Flat rujukan utama | mm | 32.5 | 57.5 | Separuh takuk | Separuh takuk | Separuh takuk |
| LTV (5mm×5mm) | μm | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
| TTV | μm | < 2 | < 3 | < 3 | < 5 | < 5 |
| Busur | μm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Meledingkan | μm | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV (5mm×5mm) < 0.4μm | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| Pembundaran Tepi | mm | Mematuhi Piawaian SEMI M1.2 / rujuk IEC62276 | ||||
| Jenis Permukaan | Sisi Tunggal Digilap / Sisi Berganda Digilap | |||||
| Ra sisi yang digilap | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Kriteria Bahagian Belakang | μm | umum 0.2-0.7 atau disesuaikan | ||||
Kuarza vs. Bahan Lutsinar Lain
| Hartanah | Kaca Kuarza | Kaca Borosilikat | Safir | Kaca Standard |
|---|---|---|---|---|
| Suhu Operasi Maksimum | ~1100°C | ~500°C | ~2000°C | ~200°C |
| Penghantaran UV | Cemerlang (JGS1) | Miskin | Bagus | Sangat miskin |
| Rintangan Kimia | Cemerlang | Sederhana | Cemerlang | Miskin |
| Ketulenan | Sangat tinggi | Rendah hingga sederhana | Tinggi | Rendah |
| Pengembangan Terma | Sangat rendah | Sederhana | Rendah | Tinggi |
| Kos | Sederhana hingga tinggi | Rendah | Tinggi | Sangat rendah |
Soalan Lazim Wafer Kaca Kuarza
S1: Apakah perbezaan antara kuarza terlakur dan silika terlakur?
Walaupun kedua-duanya merupakan bentuk amorfus SiO₂, kuarza terlakur biasanya berasal daripada sumber kuarza semula jadi, manakala silika terlakur dihasilkan secara sintetik. Secara fungsinya, ia menawarkan prestasi yang serupa, tetapi silika terlakur mungkin mempunyai ketulenan dan homogeniti yang sedikit lebih tinggi.
S2: Bolehkah wafer kuarza terlakur digunakan dalam persekitaran vakum tinggi?
Ya. Disebabkan sifat pelepasan gas yang rendah dan rintangan haba yang tinggi, wafer kuarza terlakur sangat baik untuk sistem vakum dan aplikasi aeroangkasa.
S3: Adakah wafer ini sesuai untuk aplikasi laser UV dalam?
Sudah tentu. Kuarza terlakur mempunyai transmisi yang tinggi sehingga ~185 nm, menjadikannya sesuai untuk optik DUV, topeng litografi dan sistem laser excimer.
S4: Adakah anda menyokong fabrikasi wafer tersuai?
Ya. Kami menawarkan penyesuaian penuh termasuk diameter, ketebalan, kualiti permukaan, lekukan/takuk dan corak laser, berdasarkan keperluan aplikasi khusus anda.
Tentang Kami
XKH pakar dalam pembangunan, pengeluaran dan penjualan kaca optik khas dan bahan kristal baharu yang berteknologi tinggi. Produk kami menawarkan elektronik optik, elektronik pengguna dan ketenteraan. Kami menawarkan komponen optik nilam, penutup kanta telefon bimbit, Seramik, LT, Silikon Karbida SIC, Kuarza dan wafer kristal semikonduktor. Dengan kepakaran mahir dan peralatan canggih, kami cemerlang dalam pemprosesan produk bukan standard, bertujuan untuk menjadi perusahaan berteknologi tinggi bahan optoelektronik yang terkemuka.
