Peralatan teknologi laser mikrojet pemotongan wafer pemprosesan bahan SiC

Penerangan Ringkas:

Peralatan teknologi laser mikrojet ialah sejenis sistem pemesinan jitu yang menggabungkan laser bertenaga tinggi dan jet cecair aras mikron. Dengan menggabungkan pancaran laser kepada jet cecair berkelajuan tinggi (air ternyahion atau cecair khas), pemprosesan bahan dengan ketepatan tinggi dan kerosakan haba yang rendah dapat direalisasikan. Teknologi ini amat sesuai untuk pemotongan, penggerudian dan pemprosesan mikrostruktur bahan keras dan rapuh (seperti SiC, nilam, kaca), dan digunakan secara meluas dalam semikonduktor, paparan fotoelektrik, peranti perubatan dan bidang lain.

Hantar emel kepada kami

Ciri-ciri

Prinsip kerja:

1. Gandingan laser: laser berdenyut (UV/hijau/inframerah) difokuskan di dalam jet cecair untuk membentuk saluran penghantaran tenaga yang stabil.

2. Panduan cecair: jet berkelajuan tinggi (kadar aliran 50-200m/s) menyejukkan kawasan pemprosesan dan membuang serpihan untuk mengelakkan pengumpulan haba dan pencemaran.

3. Penyingkiran bahan: Tenaga laser menyebabkan kesan peronggaan dalam cecair untuk mencapai pemprosesan sejuk bahan (zon terjejas haba <1μm).

4. Kawalan dinamik: pelarasan masa nyata parameter laser (kuasa, frekuensi) dan tekanan jet untuk memenuhi keperluan bahan dan struktur yang berbeza.

Parameter utama:

1. Kuasa laser: 10-500W (boleh laras)

2. Diameter jet: 50-300μm

3. Ketepatan pemesinan: ±0.5μm (pemotongan), nisbah kedalaman kepada lebar 10:1 (penggerudian)

Kelebihan teknikal:

(1) Hampir sifar kerosakan haba
- Penyejukan jet cecair mengawal zon terjejas haba (HAZ) kepada **<1μm**, mengelakkan retakan mikro yang disebabkan oleh pemprosesan laser konvensional (HAZ biasanya >10μm).

(2) Pemesinan berketepatan ultra tinggi
- Ketepatan pemotongan/penggerudian sehingga **±0.5μm**, kekasaran tepi Ra<0.2μm, mengurangkan keperluan untuk penggilapan berikutnya.

- Menyokong pemprosesan struktur 3D yang kompleks (seperti lubang kon, slot berbentuk).

(3) Keserasian bahan yang luas
- Bahan keras dan rapuh: SiC, nilam, kaca, seramik (kaedah tradisional mudah pecah).

- Bahan sensitif haba: polimer, tisu biologi (tiada risiko denaturasi haba).

(4) Perlindungan dan kecekapan alam sekitar
- Tiada pencemaran habuk, cecair boleh dikitar semula dan ditapis.

- Peningkatan kelajuan pemprosesan sebanyak 30%-50% (berbanding pemesinan).

(5) Kawalan pintar
- Penentuan kedudukan visual bersepadu dan pengoptimuman parameter AI, ketebalan dan kecacatan bahan adaptif.

Spesifikasi teknikal：

Isipadu kaunter	300300150	400400200
Paksi linear XY	Motor linear. Motor linear	Motor linear. Motor linear
Paksi linear Z	150	200
Ketepatan kedudukan μm	+/-5	+/-5
Ketepatan kedudukan berulang μm	+/-2	+/-2
Pecutan G	1	0.29
Kawalan berangka	3 paksi /3+1 paksi /3+2 paksi	3 paksi /3+1 paksi /3+2 paksi
Jenis kawalan berangka	DPSS Nd:YAG	DPSS Nd:YAG
Panjang gelombang nm	532/1064	532/1064
Kuasa dinilai W	50/100/200	50/100/200
Pancutan air	40-100	40-100
Bar tekanan muncung	50-100	50-600
Dimensi (alat mesin) (lebar * panjang * tinggi) mm	144519442260	170015002120
Saiz (kabinet kawalan) (L * P * T)	70025001600	70025001600
Berat (peralatan) T	2.5	3
Berat (kabinet kawalan) KG	800	800
Keupayaan pemprosesan	Kekasaran permukaan Ra≤1.6um Kelajuan pembukaan ≥1.25mm/s Pemotongan lilitan ≥6mm/s Kelajuan pemotongan linear ≥50mm/s	Kekasaran permukaan Ra≤1.2um Kelajuan pembukaan ≥1.25mm/s Pemotongan lilitan ≥6mm/s Kelajuan pemotongan linear ≥50mm/s
	Untuk kristal galium nitrida, bahan semikonduktor jurang jalur ultra lebar (berlian/Galium oksida), bahan khas aeroangkasa, substrat seramik karbon LTCC, fotovoltaik, kristal sintilator dan pemprosesan bahan lain. Nota: Kapasiti pemprosesan berbeza-beza bergantung pada ciri-ciri bahan

Kes pemprosesan:

Perkhidmatan XKH:

XKH menyediakan pelbagai sokongan perkhidmatan kitaran hayat penuh untuk peralatan teknologi laser mikrojet, daripada pembangunan proses awal dan perundingan pemilihan peralatan, kepada integrasi sistem tersuai pertengahan penggal (termasuk padanan khas sumber laser, sistem jet dan modul automasi), kepada latihan operasi dan penyelenggaraan kemudian dan pengoptimuman proses berterusan, keseluruhan proses dilengkapi dengan sokongan pasukan teknikal profesional; Berdasarkan 20 tahun pengalaman pemesinan jitu, kami boleh menyediakan penyelesaian sehenti termasuk pengesahan peralatan, pengenalan pengeluaran besar-besaran dan tindak balas pantas selepas jualan (sokongan teknikal 24 jam + rizab alat ganti utama) untuk industri yang berbeza seperti semikonduktor dan perubatan, dan menjanjikan jaminan 12 bulan dan perkhidmatan penyelenggaraan dan naik taraf sepanjang hayat. Memastikan peralatan pelanggan sentiasa mengekalkan prestasi dan kestabilan pemprosesan yang terkemuka dalam industri.