Chuck Seramik Silikon Karbida untuk Wafer SiC nilam Si GAAs

Chuck Seramik Silikon Karbida untuk Wafer SiC nilam Si GAA Imej Pilihan

Penerangan Ringkas:

Chuck Seramik Silikon Karbida ialah platform berprestasi tinggi yang direka bentuk untuk pemeriksaan semikonduktor, fabrikasi wafer dan aplikasi pengikatan. Dibina dengan bahan seramik canggih—termasuk SiC tersinter (SSiC), SiC terikat tindak balas (RSiC), silikon nitrida dan aluminium nitrida—ia menawarkan kekakuan yang tinggi, pengembangan haba yang rendah, rintangan haus yang sangat baik dan hayat perkhidmatan yang panjang.

Hantar emel kepada kami

Ciri-ciri

Gambarajah Terperinci

Gambaran Keseluruhan Chuck Seramik Silikon Karbida (SiC)

YangChuck Seramik Silikon Karbidaialah platform berprestasi tinggi yang direka bentuk untuk pemeriksaan semikonduktor, fabrikasi wafer dan aplikasi ikatan. Dibina dengan bahan seramik canggih—termasukSiC tersinter (SSiC), SiC terikat tindak balas (RSiC), silikon nitrida, danaluminium nitrida—ia menawarkankekakuan tinggi, pengembangan haba rendah, rintangan haus yang sangat baik, dan hayat perkhidmatan yang panjang.

Dengan kejuruteraan jitu dan penggilapan canggih, chuck ini memberikankerataan sub-mikron, permukaan berkualiti cermin dan kestabilan dimensi jangka panjang, menjadikannya penyelesaian ideal untuk proses semikonduktor kritikal.

Kelebihan Utama

Ketepatan Tinggi
Kerataan dikawal dalam0.3–0.5 µm, memastikan kestabilan wafer dan ketepatan proses yang konsisten.
Penggilapan Cermin
MencapaiRa 0.02 μmkekasaran permukaan, meminimumkan calar dan pencemaran wafer—sesuai untuk persekitaran ultra bersih.
Ultra Ringan
Lebih kuat namun lebih ringan daripada substrat kuarza atau logam, meningkatkan kawalan gerakan, daya tindak balas dan ketepatan kedudukan.
Kekakuan Tinggi
Modulus Young yang luar biasa memastikan kestabilan dimensi di bawah beban berat dan operasi berkelajuan tinggi.
Pengembangan Terma Rendah
CTE hampir memadankan wafer silikon, mengurangkan tekanan haba dan meningkatkan kebolehpercayaan proses.
Rintangan Haus Cemerlang
Kekerasan yang melampau mengekalkan kerataan dan ketepatan walaupun di bawah penggunaan frekuensi tinggi jangka panjang.

Proses Pembuatan

Penyediaan Bahan Mentah
Serbuk SiC berketulenan tinggi dengan saiz zarah terkawal dan bendasing ultra rendah.
Pembentukan & Pensinteran
Teknik sepertipensinteran tanpa tekanan (SSiC) or ikatan tindak balas (RSiC)menghasilkan substrat seramik yang padat dan seragam.
Pemesinan Ketepatan
Pengisaran CNC, pemangkasan laser dan pemesinan ultra-ketepatan mencapai toleransi ±0.01 mm dan paralelisme ≤3 μm.
Rawatan Permukaan
Pengisaran dan penggilapan berbilang peringkat hingga Ra 0.02 μm; salutan pilihan tersedia untuk rintangan kakisan atau sifat geseran tersuai.
Pemeriksaan & Kawalan Kualiti
Interferometer dan penguji kekasaran mengesahkan pematuhan dengan spesifikasi gred semikonduktor.

Spesifikasi Teknikal

Parameter	Nilai	Unit
Kerataan	≤0.5	μm
Saiz wafer	6'', 8'', 12'' (tersedia mengikut tempahan)	—
Jenis permukaan	Jenis pin / Jenis cincin	—
Ketinggian pin	0.05–0.2	mm
Diameter pin minimum	ϕ0.2	mm
Jarak pin minimum	3	mm
Lebar cincin meterai minimum	0.7	mm
Kekasaran permukaan	Ra 0.02	μm
Toleransi ketebalan	±0.01	mm
Toleransi diameter	±0.01	mm
Toleransi paralelisme	≤3	μm

Aplikasi Utama

Peralatan pemeriksaan wafer semikonduktor
Sistem fabrikasi dan pemindahan wafer
Alat pengikat & pembungkusan wafer
Pembuatan peranti optoelektronik lanjutan
Instrumen ketepatan yang memerlukan permukaan ultra rata dan ultra bersih

Soal Jawab – Chuck Seramik Silikon Karbida

S1: Bagaimanakah chuck seramik SiC dibandingkan dengan chuck kuarza atau logam?
A1: Chuck SiC lebih ringan, lebih keras dan mempunyai CTE yang hampir dengan wafer silikon, meminimumkan ubah bentuk haba. Ia juga menawarkan rintangan haus yang unggul dan jangka hayat yang lebih lama.

S2: Apakah kerataan yang boleh dicapai?
A2: Dikawal dalam0.3–0.5 µm, memenuhi permintaan pengeluaran semikonduktor yang ketat.

S3: Adakah permukaan wafer akan tercalar?
A3: Tidak—digilap cermin untukRa 0.02 μm, memastikan pengendalian bebas calar dan penjanaan zarah yang berkurangan.

S4: Apakah saiz wafer yang disokong?
A4: Saiz standard bagi6'', 8'', dan 12'', dengan penyesuaian tersedia.

S5: Bagaimanakah rintangan haba?
A5: Seramik SiC memberikan prestasi suhu tinggi yang sangat baik dengan ubah bentuk minimum di bawah kitaran haba.

Tentang Kami

XKH pakar dalam pembangunan, pengeluaran dan penjualan kaca optik khas dan bahan kristal baharu yang berteknologi tinggi. Produk kami menawarkan elektronik optik, elektronik pengguna dan ketenteraan. Kami menawarkan komponen optik nilam, penutup kanta telefon bimbit, Seramik, LT, Silikon Karbida SIC, Kuarza dan wafer kristal semikonduktor. Dengan kepakaran mahir dan peralatan canggih, kami cemerlang dalam pemprosesan produk bukan standard, bertujuan untuk menjadi perusahaan berteknologi tinggi bahan optoelektronik yang terkemuka.