Jongkong SiC 2 inci Dia50.8mmx10mmt 4H-N monohablur
Teknologi Pertumbuhan Kristal SiC
Ciri-ciri SiC menjadikannya sukar untuk mengembangkan kristal tunggal.Ini disebabkan terutamanya oleh fakta bahawa tiada fasa cecair dengan nisbah stoikiometri Si : C = 1: 1 pada tekanan atmosfera, dan tidak mungkin untuk mengembangkan SiC dengan kaedah pertumbuhan yang lebih matang, seperti kaedah lukisan langsung dan kaedah pijar jatuh, yang merupakan tunjang utama industri semikonduktor.Secara teorinya, penyelesaian dengan nisbah stoikiometri Si : C = 1 : 1 hanya boleh diperolehi apabila tekanan lebih besar daripada 10E5atm dan suhu lebih tinggi daripada 3200℃.Pada masa ini, kaedah arus perdana termasuk kaedah PVT, kaedah fasa cecair, dan kaedah pemendapan kimia fasa wap suhu tinggi.
Wafer dan kristal SiC yang kami sediakan kebanyakannya ditanam melalui pengangkutan wap fizikal (PVT), dan berikut ialah pengenalan ringkas kepada PVT:
Kaedah pengangkutan wap fizikal (PVT) berasal daripada teknik sublimasi fasa gas yang dicipta oleh Lely pada tahun 1955, di mana serbuk SiC diletakkan dalam tiub grafit dan dipanaskan pada suhu tinggi untuk membuat serbuk SiC terurai dan sublimat, dan kemudian grafit. tiub disejukkan, dan komponen fasa gas terurai serbuk SiC dimendapkan dan dihablurkan sebagai hablur SiC di kawasan sekitar tiub grafit.Walaupun kaedah ini sukar untuk mendapatkan kristal tunggal SiC bersaiz besar dan proses pemendapan di dalam tiub grafit sukar dikawal, ia memberikan idea untuk penyelidik seterusnya.
YM Tairov et al.di Rusia memperkenalkan konsep kristal benih atas dasar ini, yang menyelesaikan masalah bentuk kristal yang tidak terkawal dan kedudukan nukleasi kristal SiC.Penyelidik seterusnya terus menambah baik dan akhirnya membangunkan kaedah pemindahan wap fizikal (PVT) yang digunakan dalam industri hari ini.
Sebagai kaedah pertumbuhan kristal SiC yang terawal, PVT kini merupakan kaedah pertumbuhan paling arus perdana untuk kristal SiC.Berbanding dengan kaedah lain, kaedah ini mempunyai keperluan yang rendah untuk peralatan pertumbuhan, proses pertumbuhan yang mudah, kebolehkawalan yang kuat, pembangunan dan penyelidikan yang menyeluruh, dan telah pun diindustrikan.
Gambarajah Terperinci
![asd (1)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/asd-19.jpg)
![asd (2)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/asd-29.jpg)
![asd (3)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/asd-35.jpg)
![asd (4)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/asd-42.jpg)