4H-separuh HPSI 2 inci SiC wafer Pengeluaran Dummy gred Penyelidikan
Wafer SiC substrat silikon karbida separa penebat
Substrat silikon karbida terutamanya dibahagikan kepada jenis konduktif dan separa penebat, substrat silikon karbida konduktif kepada substrat jenis-n digunakan terutamanya untuk LED berasaskan GaN epitaxial dan peranti optoelektronik lain, peranti elektronik kuasa berasaskan SiC, dsb., dan separa- penebat substrat silikon karbida SiC digunakan terutamanya untuk pembuatan epitaxial peranti frekuensi radio berkuasa tinggi GaN. Di samping itu ketulenan tinggi separa penebat HPSI dan SI separa penebat adalah berbeza, ketulenan tinggi separa penebat kepekatan pembawa 3.5 * 1013 ~ 8 * 1015/cm3 julat, dengan mobiliti elektron yang tinggi; separuh penebat adalah bahan rintangan tinggi, kerintangan adalah sangat tinggi, biasanya digunakan untuk substrat peranti gelombang mikro, bukan konduktif.
Lembaran substrat Silikon Karbida separa penebat wafer SiC
Struktur kristal SiC menentukan fizikalnya, berbanding dengan Si dan GaAs, SiC mempunyai untuk sifat fizikal; lebar jalur terlarang adalah besar, hampir 3 kali ganda lebar Si, untuk memastikan peranti berfungsi pada suhu tinggi di bawah kebolehpercayaan jangka panjang; kekuatan medan pecahan adalah tinggi, adalah 1O kali ganda daripada Si, untuk memastikan kapasiti voltan peranti, meningkatkan nilai voltan peranti; kadar elektron tepu adalah besar, adalah 2 kali ganda daripada Si, untuk meningkatkan kekerapan peranti dan ketumpatan kuasa; kekonduksian haba adalah tinggi, lebih daripada Si, kekonduksian terma adalah tinggi, kekonduksian terma adalah tinggi, kekonduksian terma adalah tinggi, kekonduksian haba adalah tinggi, lebih daripada Si, kekonduksian terma adalah tinggi, kekonduksian haba adalah tinggi. Kekonduksian haba yang tinggi, lebih daripada 3 kali ganda Si, meningkatkan kapasiti pelesapan haba peranti dan merealisasikan pengecilan peranti.