8Inci 200mm 4H-N SiC Wafer Conductive dummy gred penyelidikan

Penerangan ringkas:

Apabila pasaran pengangkutan, tenaga dan perindustrian berkembang, permintaan untuk elektronik kuasa yang boleh dipercayai dan berprestasi tinggi terus berkembang. Untuk memenuhi keperluan bagi prestasi semikonduktor yang dipertingkatkan, pengeluar peranti sedang mencari bahan semikonduktor celah jalur lebar, seperti portfolio 4H SiC Prime Grade kami bagi wafer silikon karbida (SiC) jenis 4H n.


Butiran Produk

Tag Produk

Disebabkan sifat fizikal dan elektroniknya yang unik, bahan semikonduktor wafer SiC 200mm digunakan untuk mencipta peranti elektronik berprestasi tinggi, suhu tinggi, tahan sinaran dan frekuensi tinggi. Harga substrat SiC 8 inci menurun secara beransur-ansur apabila teknologi menjadi lebih maju dan permintaan meningkat. Perkembangan teknologi terkini membawa kepada pembuatan skala pengeluaran wafer SiC 200mm. Kelebihan utama bahan semikonduktor wafer SiC berbanding dengan wafer Si dan GaAs: Kekuatan medan elektrik 4H-SiC semasa pecahan salji adalah lebih daripada susunan magnitud yang lebih tinggi daripada nilai yang sepadan untuk Si dan GaAs. Ini membawa kepada penurunan ketara dalam kerintangan pada keadaan Ron. Rintangan pada keadaan yang rendah, digabungkan dengan ketumpatan arus yang tinggi dan kekonduksian terma, membolehkan penggunaan acuan yang sangat kecil untuk peranti kuasa. Kekonduksian haba yang tinggi SiC mengurangkan rintangan haba cip. Sifat elektronik peranti berasaskan wafer SiC adalah sangat stabil dari semasa ke semasa dan pada suhu yang stabil, yang memastikan kebolehpercayaan produk yang tinggi. Silikon karbida sangat tahan terhadap sinaran keras, yang tidak merendahkan sifat elektronik cip. Suhu pengendalian kristal yang mengehadkan tinggi (lebih daripada 6000C) membolehkan anda mencipta peranti yang sangat boleh dipercayai untuk keadaan operasi yang keras dan aplikasi khas. Pada masa ini, kami boleh membekalkan wafer 200mmSiC kumpulan kecil secara berterusan dan berterusan dan mempunyai beberapa stok di gudang.

Spesifikasi

Nombor item Unit Pengeluaran Penyelidikan Dummy
1. Parameter
1.1 polytype -- 4H 4H 4H
1.2 orientasi permukaan ° <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5
2. Parameter elektrik
2.1 dopan -- Nitrogen jenis-n Nitrogen jenis-n Nitrogen jenis-n
2.2 kerintangan ohm ·cm 0.015~0.025 0.01~0.03 NA
3. Parameter mekanikal
3.1 diameter mm 200±0.2 200±0.2 200±0.2
3.2 ketebalan μm 500±25 500±25 500±25
3.3 Orientasi takuk ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Kedalaman Takik mm 1~1.5 1~1.5 1~1.5
3.5 LTV μm ≤5(10mm*10mm) ≤5(10mm*10mm) ≤10(10mm*10mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Tunduk μm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 meledingkan μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0.2 Ra≤0.2 Ra≤0.2
4. Struktur
4.1 ketumpatan paip mikro ea/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 kandungan logam atom/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD ea/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 BPD ea/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 TED ea/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Kualiti positif
5.1 depan -- Si Si Si
5.2 kemasan permukaan -- CMP muka Si CMP muka Si CMP muka Si
5.3 zarah ea/wafer ≤100(saiz≥0.3μm) NA NA
5.4 calar ea/wafer ≤5, Jumlah Panjang≤200mm NA NA
5.5 Tepi
cip/inden/rekahan/noda/kontaminasi
-- tiada tiada NA
5.6 Kawasan politaip -- tiada Kawasan ≤10% Kawasan ≤30%
5.7 penandaan hadapan -- tiada tiada tiada
6. Kualiti belakang
6.1 kemasan belakang -- Ahli Parlimen muka C Ahli Parlimen muka C Ahli Parlimen muka C
6.2 calar mm NA NA NA
6.3 Tepi kecacatan belakang
cip/inden
-- tiada tiada NA
6.4 Kekasaran belakang nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Penandaan belakang -- Takik Takik Takik
7. Tepi
7.1 tepi -- Chamfer Chamfer Chamfer
8. Pakej
8.1 pembungkusan -- Epi-sedia dengan vakum
pembungkusan
Epi-sedia dengan vakum
pembungkusan
Epi-sedia dengan vakum
pembungkusan
8.2 pembungkusan -- Berbilang wafer
pembungkusan kaset
Berbilang wafer
pembungkusan kaset
Berbilang wafer
pembungkusan kaset

Gambarajah Terperinci

8 inci SiC03
8 inci SiC4
8 inci SiC5
8 inci SiC6

  • Sebelumnya:
  • Seterusnya:

  • Tulis mesej anda di sini dan hantar kepada kami