Wafer Nilam Ketebalan Dia300x1.0mmt C-Plane SSP/DSP

Penerangan Ringkas:

Shanghai Xinkehui New Material Co., Ltd. boleh menghasilkan wafer nilam dengan pelbagai orientasi permukaan (c, r, a, dan satah-m), dan mengawal sudut pemotongan luar sehingga dalam lingkungan 0.1 darjah. Dengan menggunakan teknologi proprietari kami, kami dapat mencapai kualiti tinggi yang diperlukan untuk aplikasi seperti pertumbuhan epitaksi dan ikatan wafer.


Ciri-ciri

ujian1

Memperkenalkan kotak wafer

Bahan Kristal 99,999% Al2O3, Ketulenan Tinggi, Monokristalin, Al2O3
Kualiti kristal Rangkuman, tanda blok, kembar, Warna, gelembung mikro dan pusat penyebaran tidak wujud
Diameter 2 inci 3 inci 4 inci 6 inci ~ 12 inci
50.8± 0.1mm 76.2±0.2mm 100±0.3mm Selaras dengan peruntukan pengeluaran standard
Ketebalan 430±15µm 550±15µm 650±20µm Boleh disesuaikan oleh pelanggan
Orientasi Satah C (0001) ke satah M (1-100) atau satah A(1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°, satah R (1-1 0 2), satah A (1 1-2 0), satah M(1-1 0 0), Sebarang Orientasi, Sebarang sudut
Panjang rata utama 16.0±1mm 22.0±1.0mm 32.5±1.5 mm Selaras dengan peruntukan pengeluaran standard
Orientasi rata utama Satah-A (1 1-2 0) ± 0.2°      
TTV ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
LTV ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
TIR ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
BUSU ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
Meledingkan ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
Permukaan Hadapan Epi-Digilap (Ra< 0.2nm)

*Busur: Penyimpangan titik tengah permukaan median wafer bebas yang tidak diapit dari satah rujukan, di mana satah rujukan ditakrifkan oleh tiga penjuru segitiga sama sisi.

*Lengkungan: Perbezaan antara jarak maksimum dan minimum permukaan median wafer bebas yang tidak diapit dari satah rujukan yang ditakrifkan di atas.

Produk dan perkhidmatan berkualiti tinggi untuk peranti semikonduktor generasi akan datang dan pertumbuhan epitaksi:

Tahap kerataan yang tinggi (TTV terkawal, busur, lungsin dll.)

Pembersihan berkualiti tinggi (pencemaran zarah rendah, pencemaran logam rendah)

Penggerudian substrat, alur, pemotongan dan penggilapan bahagian belakang

Lampiran data seperti kebersihan dan bentuk substrat (pilihan)

Jika anda memerlukan substrat nilam, sila hubungi:

mel:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522

Kami akan menghubungi anda secepat mungkin!

Gambarajah Terperinci

vcs (2)
vcs (1)

  • Sebelumnya:
  • Seterusnya:

  • Tulis mesej anda di sini dan hantarkannya kepada kami