Pengesan Akhir Seramik Alumina Berprestasi Tinggi (Lengan Garpu) untuk Semikonduktor dan Automasi Bilik Bersih

Pengesan Akhir Seramik Alumina Berprestasi Tinggi (Lengan Garpu) untuk Imej Pilihan Semikonduktor dan Automasi Bilik Bersih

Penerangan ringkas:

Pengesan Akhir Seramik Alumina, juga dirujuk sebagai lengan garpu seramik atau tangan seramik robotik, ialah komponen pengendalian ketepatan tinggi yang direka untuk sistem automatik dalam semikonduktor, fotovoltaik, paparan panel dan persekitaran makmal ketulenan tinggi. Ia direka bentuk untuk memberikan kestabilan terma yang luar biasa, ketegaran mekanikal dan rintangan kimia, menawarkan pengangkutan bahan sensitif yang bersih, boleh dipercayai dan selamat seperti wafer silikon, substrat kaca dan komponen mikro elektronik.

Hantar e-mel kepada kami

Ciri-ciri

Gambarajah Terperinci

Pengenalan Produk

Sebagai sejenis pengesan akhir robotik, komponen seramik ini adalah antara muka akhir antara sistem automasi dan bahan kerja. Ia memainkan peranan penting dalam pemindahan ketepatan, penjajaran, pemuatan/pemunggahan dan tugasan kedudukan dalam bilik bersih dan persekitaran vakum.

lengan-seramik-untuk-pemacu-wafer-konduktor-G13

lengan-seramik-untuk-pemacu-wafer-konduktor-G10

lengan-seramik-untuk-pemacu-wafer-konduktor-G07

Gambaran Keseluruhan Bahan – Seramik Alumina (Al₂O₃)

Seramik alumina ialah bahan seramik teknikal yang sangat stabil dan lengai secara kimia yang terkenal dengan sifat mekanikal dan elektriknya yang sangat baik. Alumina ketulenan tinggi (≥ 99.5%) yang digunakan dalam pengesan akhir ini memastikan:

Kekerasan tinggi (Mohs 9): Kedua selepas berlian, alumina memberikan rintangan haus yang melampau.
Keupayaan suhu tinggi: Mengekalkan integriti struktur melebihi 1600°C.
Kelalaian kimia: Tahan kepada asid, alkali, pelarut, dan persekitaran etsa plasma.
Penebat elektrik: Dengan kekuatan dielektrik yang tinggi dan kehilangan dielektrik yang rendah.
Pengembangan haba yang rendah: Memastikan kestabilan dimensi dalam persekitaran kitaran haba.
Penjanaan zarah rendah: Penting untuk keserasian bilik bersih (Kelas 10 hingga Kelas 1000).

Ciri-ciri ini menjadikan seramik alumina sesuai untuk operasi kritikal misi dalam industri sensitif pencemaran.

Aplikasi Berfungsi

Pengesan akhir seramik alumina digunakan secara meluas dalam proses perindustrian berteknologi tinggi, terutamanya di mana bahan logam atau plastik tradisional jatuh pendek disebabkan oleh pengembangan terma, pencemaran atau masalah kakisan. Medan aplikasi utama termasuk:

Pemindahan wafer semikonduktor
Sistem pemuatan dan pemunggahan fotolitografi
Pengendalian substrat kaca dalam talian OLED dan LCD
Pemindahan wafer silikon kristal dalam pengeluaran sel suria
Pemeriksaan optik atau mikroelektronik automatik
Pengangkutan sampel dalam makmal analisis atau bioperubatan
Sistem automasi persekitaran vakum

Keupayaannya untuk melakukan tanpa memasukkan zarah atau cas statik menjadikannya amat diperlukan untuk operasi robot yang tepat dalam automasi bilik bersih.

Ciri Reka Bentuk & Penyesuaian

Setiap pengesan hujung seramik direka bentuk agar sesuai dengan lengan robotik atau sistem pengendalian wafer tertentu. Kami menyokong penyesuaian penuh berdasarkan:

Keserasian saiz wafer: 2", 4", 6", 8", 12" dan banyak lagi
Geometri slot dan jarak: Menampung cengkaman tepi, sokongan sisi belakang atau reka bentuk wafer bertakuk
Port sedutan: Lubang atau saluran vakum bersepadu untuk pengendalian tanpa sentuhan
Konfigurasi pemasangan: Lubang, benang, slot yang disesuaikan dengan bebibir alat hujung robot anda
Rawatan permukaan: Kemasan yang digilap, dilap atau dikisar halus (Ra < 0.2 µm tersedia)
Perlindungan tepi: Bucu bulat atau chamfering untuk mengelakkan kerosakan wafer

Dengan menggunakan lukisan CAD atau model 3D yang disediakan oleh pelanggan, jurutera kami boleh mengoptimumkan setiap lengan garpu untuk berat, kekuatan dan kebersihan.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Kelebihan Pengesan Akhir Seramik

Ciri	Faedah
Ketegaran Mekanikal yang Tinggi	Mengekalkan ketepatan dimensi di bawah daya pemuatan robotik
Prestasi Terma Cemerlang	Berprestasi dengan pasti dalam persekitaran suhu tinggi atau plasma
Sifar Pencemaran Logam	Tiada risiko pencemaran ion dalam pemprosesan semikonduktor kritikal
Permukaan Geseran Rendah	Mengurangkan risiko calar pada substrat wafer atau kaca
Anti Statik dan Bukan Magnet	Tidak menarik habuk atau menjejaskan komponen sensitif magnetik
Hayat Perkhidmatan yang Panjang	Rintangan haus yang unggul dalam kitaran automasi berkelajuan tinggi yang berulang
Keserasian Ultra-Bersih	Sesuai untuk bilik bersih ISO 14644 (Kelas 100 dan ke bawah)

Berbanding dengan lengan plastik atau aluminium, seramik alumina memberikan kestabilan kimia dan fizikal yang dipertingkatkan secara dramatik dengan keperluan penyelenggaraan yang minimum.

Harta benda	Lengan Logam	Lengan Plastik	Lengan Seramik Alumina
Kekerasan	Sederhana	rendah	Sangat Tinggi (Mohs 9)
Kestabilan Terma	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
Rintangan Kimia	Sederhana	miskin	Cemerlang
Kesesuaian Bilik Bersih	Sederhana	rendah	Sangat Tinggi
Ketahanan Pakai	Sederhana	rendah	Cemerlang
Kekuatan Dielektrik	rendah	Sederhana	tinggi
Ketepatan Pemesinan Tersuai	Terhad	Sederhana	Tinggi (±0.01mm mungkin)

Spesifikasi Teknikal

Parameter	Nilai
bahan	Alumina ketulenan tinggi (≥ 99.5%)
Suhu Bekerja	Sehingga 1600°C
Kekasaran Permukaan	Ra ≤ 0.2 µm (pilihan)
Saiz Wafer yang Serasi	2" hingga 12" atau tersuai
Toleransi Kerataan	±0.01 mm (bergantung pada permohonan)
Sokongan Penyedutan Vakum	Pilihan, saluran yang boleh disesuaikan
Pilihan Pemasangan	Lubang bolt-through, flange, slotted

Soalan Lazim (FAQ)

S1: Bolehkah pengesan akhir diintegrasikan ke dalam sistem robotik sedia ada?
A1:ya. Kami menyokong penyesuaian berdasarkan antara muka robot anda. Anda boleh menghantar lukisan CAD atau dimensi bebibir kepada kami untuk penyesuaian yang tepat.

S2: Adakah lengan seramik mudah patah semasa digunakan?
A2:Walaupun seramik bersifat rapuh, reka bentuk kami menggunakan geometri yang dioptimumkan untuk meminimumkan kepekatan tekanan. Di bawah keadaan penggunaan yang betul, mereka memberikan hayat perkhidmatan yang jauh lebih lama daripada logam atau plastik.

S3: Adakah mungkin untuk menggunakan ini dalam ruang vakum ultra tinggi atau kebuk etsa plasma?
A3:ya. Seramik alumina tidak mengeluarkan gas, stabil dari segi haba dan tahan kakisan—sangat sesuai untuk persekitaran vakum tinggi, gas reaktif atau plasma.

S4: Bagaimanakah komponen ini dibersihkan atau diselenggara?
A4:Ia boleh dibersihkan menggunakan air DI, alkohol atau detergen yang serasi dengan bilik bersih. Tiada penyelenggaraan khas diperlukan kerana kestabilan kimianya dan permukaan lengai.

Tentang Kami

XKH pakar dalam pembangunan berteknologi tinggi, pengeluaran dan penjualan kaca optik khas dan bahan kristal baharu. Produk kami menyediakan perkhidmatan elektronik optik, elektronik pengguna dan ketenteraan. Kami menawarkan komponen optik Sapphire, penutup kanta telefon mudah alih, Seramik, LT, Silicon Carbide SIC, Kuarza dan wafer kristal semikonduktor. Dengan kepakaran mahir dan peralatan canggih, kami cemerlang dalam pemprosesan produk bukan standard, menyasarkan untuk menjadi perusahaan teknologi tinggi bahan optoelektronik terkemuka.