Substrat Nilam Bercorak PSS 2 inci 4 inci 6 inci ICP kering etsa boleh digunakan untuk cip LED
Ciri teras
1. Ciri-ciri bahan: Bahan substrat ialah nilam kristal tunggal (Al₂O₃), dengan kekerasan yang tinggi, rintangan haba yang tinggi dan kestabilan kimia.
2. Struktur permukaan: Permukaan dibentuk oleh fotolitografi dan goresan ke dalam struktur mikro-nano berkala, seperti kon, piramid atau tatasusunan heksagon.
3. Prestasi optik: Melalui reka bentuk corak permukaan, jumlah pantulan cahaya pada antara muka dikurangkan, dan kecekapan pengekstrakan cahaya dipertingkatkan.
4. Prestasi terma: Substrat nilam mempunyai kekonduksian terma yang sangat baik, sesuai untuk aplikasi LED berkuasa tinggi.
5. Spesifikasi saiz: Saiz biasa ialah 2 inci (50.8mm), 4 inci (100mm) dan 6 inci (150mm).
Kawasan aplikasi utama
1. pembuatan LED:
Kecekapan pengekstrakan cahaya yang dipertingkatkan: PSS mengurangkan kehilangan cahaya melalui reka bentuk corak, meningkatkan kecerahan LED dan kecekapan bercahaya dengan ketara.
Kualiti pertumbuhan epitaxial yang dipertingkatkan: Struktur bercorak menyediakan asas pertumbuhan yang lebih baik untuk lapisan epitaxial GaN dan meningkatkan prestasi LED.
2. Diod Laser (LD):
Laser kuasa tinggi: Kekonduksian haba yang tinggi dan kestabilan PSS sesuai untuk diod laser kuasa tinggi, meningkatkan prestasi pelesapan haba dan kebolehpercayaan.
Arus ambang rendah: Optimumkan pertumbuhan epitaxial, kurangkan arus ambang diod laser, dan tingkatkan kecekapan.
3. Pengesan foto:
Kepekaan tinggi: Transmisi cahaya tinggi dan ketumpatan kecacatan rendah PSS meningkatkan sensitiviti dan kelajuan tindak balas pengesan foto.
Tindak balas spektrum luas: sesuai untuk pengesanan fotoelektrik dalam julat ultraungu kepada yang boleh dilihat.
4. Elektronik kuasa:
Rintangan voltan tinggi: Penebat tinggi Sapphire dan kestabilan haba sesuai untuk peranti kuasa voltan tinggi.
Pelesapan haba yang cekap: Kekonduksian haba yang tinggi meningkatkan prestasi pelesapan haba peranti kuasa dan memanjangkan hayat perkhidmatan.
5. Peranti Rf:
Prestasi frekuensi tinggi: Kehilangan dielektrik yang rendah dan kestabilan haba yang tinggi PSS sesuai untuk peranti RF frekuensi tinggi.
Bunyi rendah: Kerataan tinggi dan ketumpatan kecacatan rendah mengurangkan hingar peranti dan meningkatkan kualiti isyarat.
6. Biosensor:
Pengesanan sensitiviti tinggi: Transmisi cahaya tinggi dan kestabilan kimia PSS sesuai untuk biosensor kepekaan tinggi.
Biokeserasian: Kesesuaian bio nilam menjadikannya sesuai untuk aplikasi perubatan dan pengesanan bio.
Substrat nilam bercorak (PSS) dengan bahan epitaxial GaN:
Substrat nilam bercorak (PSS) ialah substrat yang ideal untuk pertumbuhan epitaxial GaN (gallium nitride). Pemalar kekisi nilam adalah hampir dengan GaN, yang boleh mengurangkan ketidakpadanan kekisi dan kecacatan dalam pertumbuhan epitaxial. Struktur mikro-nano permukaan PSS bukan sahaja meningkatkan kecekapan pengekstrakan cahaya, tetapi juga meningkatkan kualiti kristal lapisan epitaxial GaN, dengan itu meningkatkan prestasi dan kebolehpercayaan LED.
Parameter teknikal
| item | Substrat Nilam Bercorak (2~6 inci) | ||
| Diameter | 50.8 ± 0.1 mm | 100.0 ± 0.2 mm | 150.0 ± 0.3 mm |
| Ketebalan | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| Orientasi Permukaan | Satah C (0001) luar sudut ke arah paksi-M (10-10) 0.2 ± 0.1° | ||
| Satah C (0001) luar sudut ke arah paksi A (11-20) 0 ± 0.1° | |||
| Orientasi Rata Utama | A-Satah (11-20) ± 1.0° | ||
| Panjang Rata Utama | 16.0 ± 1.0 mm | 30.0 ± 1.0 mm | 47.5 ± 2.0 mm |
| R-Pesawat | pukul 9 | ||
| Kemasan Permukaan Hadapan | Bercorak | ||
| Kemasan Permukaan Belakang | SSP:Tanah halus,Ra=0.8-1.2um; DSP: Digilap Epi, Ra<0.3nm | ||
| Tanda Laser | Bahagian belakang | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| BOW | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| WARP | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Pengecualian Edge | ≤2 mm | ||
| Spesifikasi Corak | Struktur Bentuk | Kubah, Kon, Piramid | |
| Ketinggian Corak | 1.6~1.8μm | ||
| Diameter Corak | 2.75~2.85μm | ||
| Ruang Corak | 0.1~0.3μm | ||
XKH pakar dalam menyediakan substrat nilam bercorak (PSS) berkualiti tinggi dan disesuaikan dengan sokongan teknikal dan perkhidmatan selepas jualan untuk membantu pelanggan mencapai inovasi yang cekap dalam bidang LED, paparan dan optoelektronik.
1. Bekalan PSS berkualiti tinggi: Substrat nilam bercorak dalam pelbagai saiz (2 ", 4", 6 ") untuk memenuhi keperluan peranti LED, paparan dan optoelektronik.
2. Reka bentuk tersuai: Sesuaikan struktur mikro-nano permukaan (seperti kon, piramid atau tatasusunan heksagon) mengikut keperluan pelanggan untuk mengoptimumkan kecekapan pengekstrakan cahaya.
3. Sokongan teknikal: Menyediakan reka bentuk aplikasi PSS, pengoptimuman proses dan perundingan teknikal untuk membantu pelanggan meningkatkan prestasi produk.
4. Sokongan pertumbuhan epitaxial: PSS dipadankan dengan bahan epitaxial GaN disediakan untuk memastikan pertumbuhan lapisan epitaxial berkualiti tinggi.
5. Pengujian dan pensijilan: Menyediakan laporan pemeriksaan kualiti PSS untuk memastikan produk memenuhi piawaian industri.
Gambarajah Terperinci
