Substrat Nilam Bercorak PSS 2 inci 4 inci 6 inci Ukiran kering ICP boleh digunakan untuk cip LED
Ciri teras
1. Ciri-ciri bahan: Bahan substrat ialah nilam kristal tunggal (Al₂O₃), dengan kekerasan yang tinggi, rintangan haba yang tinggi dan kestabilan kimia.
2. Struktur permukaan: Permukaan dibentuk melalui fotolitografi dan pengetsaan ke dalam struktur mikro-nano berkala, seperti kon, piramid atau susunan heksagon.
3. Prestasi optik: Melalui reka bentuk corak permukaan, jumlah pantulan cahaya pada antara muka dikurangkan, dan kecekapan pengekstrakan cahaya dipertingkatkan.
4. Prestasi terma: Substrat nilam mempunyai kekonduksian terma yang sangat baik, sesuai untuk aplikasi LED berkuasa tinggi.
5. Spesifikasi saiz: Saiz biasa ialah 2 inci (50.8mm), 4 inci (100mm) dan 6 inci (150mm).
Kawasan aplikasi utama
1. Pembuatan LED:
Kecekapan pengekstrakan cahaya yang dipertingkatkan: PSS mengurangkan kehilangan cahaya melalui reka bentuk corak, meningkatkan kecerahan LED dan kecekapan bercahaya dengan ketara.
Kualiti pertumbuhan epitaksi yang dipertingkatkan: Struktur bercorak menyediakan asas pertumbuhan yang lebih baik untuk lapisan epitaksi GaN dan meningkatkan prestasi LED.
2. Diod Laser (LD):
Laser berkuasa tinggi: Kekonduksian terma dan kestabilan PSS yang tinggi sesuai untuk diod laser berkuasa tinggi, meningkatkan prestasi dan kebolehpercayaan pelesapan haba.
Arus ambang rendah: Optimumkan pertumbuhan epitaksi, kurangkan arus ambang diod laser dan tingkatkan kecekapan.
3. Pengesan foto:
Kepekaan tinggi: Penghantaran cahaya yang tinggi dan ketumpatan kecacatan PSS yang rendah meningkatkan kepekaan dan kelajuan tindak balas fotopengesan.
Respons spektrum luas: sesuai untuk pengesanan fotoelektrik dalam julat ultraungu hingga nampak.
4. Elektronik kuasa:
Rintangan voltan tinggi: Penebat dan kestabilan haba Sapphire yang tinggi sesuai untuk peranti kuasa voltan tinggi.
Pelesapan haba yang cekap: Kekonduksian terma yang tinggi meningkatkan prestasi pelesapan haba peranti kuasa dan memanjangkan hayat perkhidmatan.
5. Peranti Rf:
Prestasi frekuensi tinggi: Kehilangan dielektrik yang rendah dan kestabilan terma PSS yang tinggi sesuai untuk peranti RF frekuensi tinggi.
Bunyi bising rendah: Kerataan yang tinggi dan ketumpatan kecacatan yang rendah mengurangkan bunyi bising peranti dan meningkatkan kualiti isyarat.
6. Biosensor:
Pengesanan kepekaan tinggi: Penghantaran cahaya yang tinggi dan kestabilan kimia PSS sesuai untuk biosensor kepekaan tinggi.
Biokeserasian: Biokeserasian nilam menjadikannya sesuai untuk aplikasi perubatan dan biopengesanan.
Substrat nilam bercorak (PSS) dengan bahan epitaksi GaN:
Substrat nilam bercorak (PSS) merupakan substrat yang ideal untuk pertumbuhan epitaksi GaN (galium nitrida). Pemalar kekisi nilam adalah hampir dengan GaN, yang dapat mengurangkan ketidakpadanan kekisi dan kecacatan dalam pertumbuhan epitaksi. Struktur mikro-nano permukaan PSS bukan sahaja meningkatkan kecekapan pengekstrakan cahaya, tetapi juga meningkatkan kualiti kristal lapisan epitaksi GaN, sekali gus meningkatkan prestasi dan kebolehpercayaan LED.
Parameter teknikal
| Barang | Substrat Nilam Bercorak (2~6 inci) | ||
| Diameter | 50.8 ± 0.1 mm | 100.0 ± 0.2 mm | 150.0 ± 0.3 mm |
| Ketebalan | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| Orientasi Permukaan | Satah-C (0001) luar sudut ke arah paksi-M (10-10) 0.2 ± 0.1° | ||
| Satah-C (0001) luar sudut ke arah paksi-A (11-20) 0 ± 0.1° | |||
| Orientasi Rata Utama | Satah-A (11-20) ± 1.0° | ||
| Panjang Rata Utama | 16.0 ± 1.0 mm | 30.0 ± 1.0 mm | 47.5 ± 2.0 mm |
| R-Plane | Pukul 9 | ||
| Kemasan Permukaan Hadapan | Bercorak | ||
| Kemasan Permukaan Belakang | SSP: Digiling halus, Ra=0.8-1.2um; DSP: Digilap epi, Ra<0.3nm | ||
| Tanda Laser | Bahagian belakang | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| BUSU | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| WARP | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Pengecualian Tepi | ≤2 mm | ||
| Spesifikasi Corak | Struktur Bentuk | Kubah, Kon, Piramid | |
| Ketinggian Corak | 1.6~1.8μm | ||
| Diameter Corak | 2.75~2.85μm | ||
| Ruang Corak | 0.1~0.3μm | ||
XKH pakar dalam menyediakan substrat nilam bercorak (PSS) berkualiti tinggi dan tersuai dengan sokongan teknikal dan perkhidmatan selepas jualan bagi membantu pelanggan mencapai inovasi yang cekap dalam bidang LED, paparan dan optoelektronik.
1. Bekalan PSS berkualiti tinggi: Substrat nilam bercorak dalam pelbagai saiz (2", 4", 6") untuk memenuhi keperluan LED, paparan dan peranti optoelektronik.
2. Reka bentuk tersuai: Sesuaikan struktur mikro-nano permukaan (seperti kon, piramid atau susunan heksagon) mengikut keperluan pelanggan untuk mengoptimumkan kecekapan pengekstrakan cahaya.
3. Sokongan teknikal: Menyediakan reka bentuk aplikasi PSS, pengoptimuman proses dan perundingan teknikal untuk membantu pelanggan meningkatkan prestasi produk.
4. Sokongan pertumbuhan epitaksial: PSS yang dipadankan dengan bahan epitaksial GaN disediakan untuk memastikan pertumbuhan lapisan epitaksial berkualiti tinggi.
5. Pengujian dan pensijilan: Menyediakan laporan pemeriksaan kualiti PSS untuk memastikan produk memenuhi piawaian industri.
Gambarajah Terperinci







