Substrat Sapphire Corak PSS 2inch 4inch 6inch ICP Etching Kering boleh digunakan untuk cip LED
Ciri teras
1. Ciri -ciri Bahan: Bahan substrat adalah nilam kristal tunggal (al₂o₃), dengan kekerasan yang tinggi, rintangan haba yang tinggi dan kestabilan kimia.
2. Struktur Permukaan: Permukaan dibentuk oleh fotolitografi dan etsa ke dalam struktur mikro-nano berkala, seperti kon, piramid atau tatasusunan heksagon.
3. Prestasi optik: Melalui reka bentuk corak permukaan, jumlah refleksi cahaya pada antara muka dikurangkan, dan kecekapan pengekstrakan cahaya diperbaiki.
4. Prestasi Thermal: Substrat Sapphire mempunyai kekonduksian terma yang sangat baik, sesuai untuk aplikasi LED kuasa tinggi.
5. Spesifikasi saiz: Saiz umum adalah 2 inci (50.8mm), 4 inci (100mm) dan 6 inci (150mm).
Kawasan Permohonan Utama
1. Pembuatan LED:
Kecekapan pengekstrakan cahaya yang lebih baik: PSS mengurangkan kehilangan cahaya melalui reka bentuk corak, meningkatkan kecerahan LED dan kecekapan bercahaya dengan ketara.
Kualiti pertumbuhan epitaxial yang lebih baik: Struktur corak menyediakan asas pertumbuhan yang lebih baik untuk lapisan epitaxial GAN dan meningkatkan prestasi LED.
2. Laser Diode (LD):
Laser Kuasa Tinggi: Kekonduksian terma yang tinggi dan kestabilan PSS sesuai untuk diod laser kuasa tinggi, meningkatkan prestasi dan kebolehpercayaan pelesapan haba.
Arus ambang rendah: Mengoptimumkan pertumbuhan epitaxial, mengurangkan arus ambang diod laser, dan meningkatkan kecekapan.
3. Photodetector:
Kepekaan yang tinggi: Penghantaran cahaya yang tinggi dan ketumpatan kecacatan rendah PSS meningkatkan kepekaan dan kelajuan tindak balas photodetector.
Sambutan spektrum yang luas: Sesuai untuk pengesanan fotoelektrik di ultraviolet ke julat yang boleh dilihat.
4. Elektronik Kuasa:
Rintangan Voltan Tinggi: Penebat tinggi dan kestabilan haba Sapphire sesuai untuk peranti kuasa voltan tinggi.
Pelepasan haba yang cekap: Kekonduksian terma yang tinggi meningkatkan prestasi pelesapan haba peranti kuasa dan memanjangkan hayat perkhidmatan.
5. Peranti RF:
Prestasi frekuensi tinggi: Kehilangan dielektrik yang rendah dan kestabilan terma tinggi PSS sesuai untuk peranti RF frekuensi tinggi.
Kebisingan yang rendah: Kebosanan tinggi dan ketumpatan kecacatan rendah mengurangkan bunyi peranti dan meningkatkan kualiti isyarat.
6. Biosensor:
Pengesanan sensitiviti yang tinggi: Penghantaran cahaya yang tinggi dan kestabilan kimia PSS sesuai untuk biosensor sensitiviti yang tinggi.
Biokompatibiliti: Biokompatibiliti Sapphire menjadikannya sesuai untuk aplikasi perubatan dan biodeteksi.
Substrat Sapphire Corak (PSS) dengan bahan epitaxial GAN:
Substrat nilam corak (PSS) adalah substrat yang ideal untuk pertumbuhan epitaxial GAN (Gallium nitride). Pemalar kisi nilam adalah dekat dengan GAN, yang dapat mengurangkan ketidakcocokan kekisi dan kecacatan dalam pertumbuhan epitaxial. Struktur mikro-nano permukaan PSS bukan sahaja meningkatkan kecekapan pengekstrakan cahaya, tetapi juga meningkatkan kualiti kristal lapisan epitaxial GAN, dengan itu meningkatkan prestasi dan kebolehpercayaan LED.
Parameter teknikal
Item | Substrat nilam corak (2 ~ 6 inci) | ||
Diameter | 50.8 ± 0.1 mm | 100.0 ± 0.2 mm | 150.0 ± 0.3 mm |
Ketebalan | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
Orientasi permukaan | C-Plane (0001) Off-anger ke arah M-Axis (10-10) 0.2 ± 0.1 ° | ||
C-Plane (0001) Off-anger ke Axis A-(11-20) 0 ± 0.1 ° | |||
Orientasi rata utama | A-Plane (11-20) ± 1.0 ° | ||
Panjang rata utama | 16.0 ± 1.0 mm | 30.0 ± 1.0 mm | 47.5 ± 2.0 mm |
R-pesawat | 9-o'clock | ||
Kemasan permukaan depan | Corak | ||
Kemasan permukaan belakang | SSP: Fine-ground, Ra = 0.8-1.2um; DSP: Epi-digilap, ra <0.3nm | ||
Mark Laser | Bahagian belakang | ||
Ttv | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
Tunduk | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
Warp | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
Pengecualian tepi | ≤2 mm | ||
Spesifikasi corak | Struktur bentuk | Kubah, kon, piramid | |
Ketinggian corak | 1.6 ~ 1.8μm | ||
Diameter corak | 2.75 ~ 2.85μm | ||
Ruang corak | 0.1 ~ 0.3μm |
XKH mengkhususkan diri dalam menyediakan substrat sapphire yang berkualiti tinggi (PSS) dengan sokongan teknikal dan perkhidmatan selepas jualan untuk membantu pelanggan mencapai inovasi yang cekap dalam bidang LED, paparan dan optoelektronik.
1. Bekalan PSS berkualiti tinggi: substrat nilam berpola dalam pelbagai saiz (2 ", 4", 6 ") untuk memenuhi keperluan peranti LED, paparan dan optoelektronik.
2. Reka bentuk yang disesuaikan: Sesuaikan struktur mikro-nano permukaan (seperti kon, piramid atau array heksagon) mengikut perlu mengoptimumkan kecekapan pengekstrakan cahaya.
3. Sokongan Teknikal: Menyediakan Reka Bentuk Aplikasi PSS, Pengoptimuman Proses dan Perundingan Teknikal untuk membantu pelanggan meningkatkan prestasi produk.
4. Sokongan pertumbuhan epitaxial: PSS dipadankan dengan bahan epitaxial GAN disediakan untuk memastikan pertumbuhan lapisan epitaxial berkualiti tinggi.
5. Ujian dan Persijilan: Menyediakan Laporan Pemeriksaan Kualiti PSS untuk memastikan produk memenuhi piawaian industri.
Rajah terperinci


