grafit plat dulang seramik SiC dengan salutan SiC CVD untuk peralatan

Penerangan ringkas:

Shanghai Xinkehui New Materials Co., Ltd. menghasilkan cakera etsa semikonduktor Φ380mm–Φ600mm, cakera galas wafer, dulang silikon karbida, dulang SIC, dulang silikon karbida, dulang goresan ICP, dulang goresan, ketulenan silikon karbida > 99.9%, hayat perkhidmatan dulang SIC adalah empat kali ganda daripada dulang CVD berasaskan grafit, penggunaan jangka panjang tanpa ubah bentuk, Tahan kepada asid FH, kakisan H2So4 pekat.

Hantar e-mel kepada kami

Butiran Produk

Tag Produk

Seramik silikon karbida bukan sahaja digunakan dalam peringkat pemendapan filem nipis, seperti epitaksi atau MOCVD, atau dalam pemprosesan wafer, di mana bahagian tengah dulang pembawa wafer untuk MOCVD mula-mula tertakluk kepada persekitaran pemendapan, dan oleh itu sangat tahan terhadap haba dan kakisan.Pembawa bersalut SiC juga mempunyai kekonduksian haba yang tinggi dan sifat pengedaran haba yang sangat baik.

Pembawa wafer Pemendapan Wap Kimia Tulen Silicon Carbide (CVD SiC) untuk pemprosesan Pemendapan Wap Kimia Organik Logam (MOCVD) suhu tinggi.

Pembawa wafer SiC CVD tulen adalah jauh lebih baik daripada pembawa wafer konvensional yang digunakan dalam proses ini, iaitu grafit dan disalut dengan lapisan CVD SiC. pembawa berasaskan grafit bersalut ini tidak dapat menahan suhu tinggi (1100 hingga 1200 darjah Celcius) yang diperlukan untuk pemendapan GaN bagi led biru dan putih kecerahan tinggi hari ini. Suhu yang tinggi menyebabkan salutan membentuk lubang jarum kecil yang melaluinya proses bahan kimia menghakis grafit di bawahnya. Zarah grafit kemudian mengelupas dan mencemarkan GaN, menyebabkan pembawa wafer bersalut diganti.

CVD SiC mempunyai ketulenan 99.999% atau lebih dan mempunyai kekonduksian haba yang tinggi dan rintangan kejutan haba. Oleh itu, ia boleh menahan suhu tinggi dan persekitaran yang keras bagi pembuatan LED kecerahan tinggi. Ia adalah bahan monolitik pepejal yang mencapai ketumpatan teori, menghasilkan zarah minimum, dan mempamerkan rintangan kakisan dan hakisan yang sangat tinggi. Bahan boleh menukar kelegapan dan kekonduksian tanpa memasukkan bendasing logam. Pembawa wafer biasanya berdiameter 17 inci dan boleh memuatkan sehingga 40 wafer 2-4 inci.