Dayung Kantilever Silikon Karbida (Dayung Kantilever SiC)

Penerangan Ringkas:

Hantar emel kepada kami

Ciri-ciri

Gambarajah Terperinci

Gambaran Keseluruhan Produk

Dayung julur silikon karbida, yang dihasilkan daripada silikon karbida terikat tindak balas (RBSiC) berprestasi tinggi, merupakan komponen kritikal yang digunakan dalam sistem pemuatan dan pengendalian wafer untuk aplikasi semikonduktor dan fotovoltaik.
Berbanding dengan dayung kuarza atau grafit tradisional, dayung julur SiC menawarkan kekuatan mekanikal yang unggul, kekerasan yang tinggi, pengembangan haba yang rendah dan rintangan kakisan yang luar biasa. Ia mengekalkan kestabilan struktur yang sangat baik di bawah suhu tinggi, memenuhi keperluan ketat saiz wafer yang besar, hayat perkhidmatan yang lebih panjang dan pencemaran yang sangat rendah.

Dengan perkembangan berterusan proses semikonduktor ke arah diameter wafer yang lebih besar, daya pemprosesan yang lebih tinggi dan persekitaran pemprosesan yang lebih bersih, dayung julur SiC secara beransur-ansur telah menggantikan bahan konvensional, menjadi pilihan utama untuk relau resapan, LPCVD dan peralatan suhu tinggi yang berkaitan.

Ciri-ciri Produk

Kestabilan Suhu Tinggi yang Cemerlang
- Beroperasi dengan andal pada suhu 1000–1300℃ tanpa ubah bentuk.
- Suhu perkhidmatan maksimum sehingga 1380℃.
Kapasiti Galas Beban Tinggi
- Kekuatan lenturan sehingga 250–280 MPa, jauh lebih tinggi daripada dayung kuarza.
- Mampu mengendalikan wafer berdiameter besar (300 mm dan ke atas).
Jangka Hayat Perkhidmatan Lanjutan & Penyelenggaraan Rendah
- Pekali pengembangan haba yang rendah (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹), dipadankan dengan baik dengan bahan salutan LPCVD.
- Mengurangkan rekahan dan pengelupasan akibat tekanan, memanjangkan kitaran pembersihan dan penyelenggaraan dengan ketara.
Rintangan Kakisan & Ketulenan
- Rintangan yang sangat baik terhadap asid dan alkali.
- Mikrostruktur padat dengan keliangan terbuka <0.1%, meminimumkan penjanaan zarah dan pembebasan bendasing.
Reka Bentuk Serasi Automasi
- Geometri keratan rentas yang stabil dengan ketepatan dimensi yang tinggi.
- Berintegrasi dengan lancar dengan sistem pemuatan dan pemunggahan wafer robotik, membolehkan pengeluaran automatik sepenuhnya.

Sifat Fizikal & Kimia

Barang	Unit	Data
Suhu Perkhidmatan Maks.	℃	1380
Ketumpatan	g/cm³	3.04 – 3.08
Keliangan Terbuka	%	< 0.1
Kekuatan Lenturan	MPa	250 (20℃), 280 (1200℃)
Modulus Keanjalan	GPa	330 (20℃), 300 (1200℃)
Kekonduksian Terma	W/m·K	45 (1200℃)
Pekali Pengembangan Terma	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
Kekerasan Vickers	HV2	≥ 2100
Rintangan Asid/Alkali	-	Cemerlang

Panjang piawai:2378 mm, 2550 mm, 2660 mm
Dimensi tersuai tersedia atas permintaan

Aplikasi

Industri Semikonduktor
- LPCVD (Pemendapan Wap Kimia Tekanan Rendah)
- Proses penyebaran (fosforus, boron, dll.)
- Pengoksidaan terma
Industri Fotovoltaik
- Penyebaran dan salutan wafer polisilikon dan monokristalin
- Penyepuhlindapan dan pempasifan suhu tinggi
Bidang Lain
- Persekitaran menghakis suhu tinggi
- Sistem pengendalian wafer jitu yang memerlukan jangka hayat yang panjang dan pencemaran yang rendah

Faedah Pelanggan

Kos Operasi yang Dikurangkan– Jangka hayat yang lebih lama berbanding dayung kuarza, meminimumkan masa henti dan kekerapan penggantian.
Hasil Lebih Tinggi– Pencemaran yang sangat rendah memastikan kebersihan permukaan wafer dan mengurangkan kadar kecacatan.
Bukti Masa Depan– Sesuai dengan saiz wafer yang besar dan proses semikonduktor generasi akan datang.
Produktiviti yang Lebih Baik– Serasi sepenuhnya dengan sistem automasi robotik, menyokong pembuatan volum tinggi.

Soalan Lazim – Dayung Kantilever Silikon Karbida

S1: Apakah dayung julur silikon karbida?
A: Ia merupakan komponen sokongan dan pengendalian wafer yang diperbuat daripada silikon karbida terikat tindak balas (RBSiC). Ia digunakan secara meluas dalam relau resapan, LPCVD dan proses semikonduktor dan fotovoltaik suhu tinggi yang lain.

S2: Mengapa memilih SiC berbanding dayung kuarza?
A: Berbanding dengan dayung kuarza, dayung SiC menawarkan:

Kekuatan mekanikal dan kapasiti galas beban yang lebih tinggi
Kestabilan terma yang lebih baik pada suhu sehingga 1380℃
Jangka hayat perkhidmatan yang lebih lama dan kitaran penyelenggaraan yang lebih singkat
Penjanaan zarah dan risiko pencemaran yang lebih rendah
Keserasian dengan saiz wafer yang lebih besar (300 mm dan ke atas)

S3: Apakah saiz wafer yang boleh disokong oleh dayung julur SiC?
A: Dayung standard tersedia untuk sistem relau 2378 mm, 2550 mm dan 2660 mm. Dimensi tersuai tersedia untuk menyokong wafer sehingga 300 mm dan seterusnya.

Tentang Kami

XKH pakar dalam pembangunan, pengeluaran dan penjualan kaca optik khas dan bahan kristal baharu yang berteknologi tinggi. Produk kami menawarkan elektronik optik, elektronik pengguna dan ketenteraan. Kami menawarkan komponen optik nilam, penutup kanta telefon bimbit, Seramik, LT, Silikon Karbida SIC, Kuarza dan wafer kristal semikonduktor. Dengan kepakaran mahir dan peralatan canggih, kami cemerlang dalam pemprosesan produk bukan standard, bertujuan untuk menjadi perusahaan berteknologi tinggi bahan optoelektronik yang terkemuka.