Penyedut dulang seramik silikon karbida silikon karbida tiub seramik membekalkan pemprosesan tersuai pensinteran suhu tinggi
Ciri-ciri utama:
1. dulang seramik silikon karbida
- Kekerasan tinggi dan rintangan haus: kekerasan hampir dengan berlian, dan boleh menahan haus mekanikal dalam pemprosesan wafer untuk masa yang lama.
- Kekonduksian haba yang tinggi dan pekali pengembangan haba yang rendah: pelesapan haba yang cepat dan kestabilan dimensi, mengelakkan ubah bentuk yang disebabkan oleh tekanan haba.
- Kerataan tinggi dan kemasan permukaan: Kerataan permukaan adalah sehingga paras mikron, memastikan sentuhan penuh antara wafer dan cakera, mengurangkan pencemaran dan kerosakan.
Kestabilan kimia: Rintangan kakisan yang kuat, sesuai untuk pembersihan basah dan proses goresan dalam pembuatan semikonduktor.
2. tiub seramik silikon karbida
- Rintangan suhu tinggi: Ia boleh berfungsi dalam persekitaran suhu tinggi melebihi 1600°C untuk masa yang lama, sesuai untuk proses suhu tinggi semikonduktor.
Rintangan kakisan yang sangat baik: tahan terhadap asid, alkali dan pelbagai pelarut kimia, sesuai untuk persekitaran proses yang keras.
- Kekerasan tinggi dan rintangan haus: menahan hakisan zarah dan haus mekanikal, memanjangkan hayat perkhidmatan.
- Kekonduksian terma yang tinggi dan pekali pengembangan terma yang rendah: pengaliran haba yang cepat dan kestabilan dimensi, mengurangkan ubah bentuk atau keretakan yang disebabkan oleh tekanan haba.
Parameter Produk：
Parameter dulang seramik silikon karbida:
| (Harta material) | (Unit) | (ssic) | |
| (kandungan SiC) | (Wt)% | >99 | |
| (Purata saiz bijian) | mikron | 4-10 | |
| (Ketumpatan) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (Keliangan ketara) | Vo1% | <0.5 | |
| (kekerasan Vickers) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| *() Kekuatan lentur* (tiga mata) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Kekuatan mampatan) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Modulus anjal) | 20ºC | GPa | 420 |
| (kekerasan patah) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Kekonduksian terma) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Kerintangan) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
(Pekali pengembangan terma) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Suhu operasi maksimum) | oºC | 1700 | |
Parameter tiub seramik silikon karbida:
| barang | Indeks |
| α-SIC | 99% min |
| Keliangan Jelas | 16% maks |
| Ketumpatan Pukal | 2.7g/cm3 min |
| Kekuatan Lenturan pada Suhu Tinggi | 100 Mpa min |
| Pekali Pengembangan Terma | K-1 4.7x10 -6 |
| Pekali Kekonduksian Terma(1400ºC) | 24 W/mk |
| Maks. Suhu Bekerja | 1650ºC |
Aplikasi utama:
1. Plat seramik silikon karbida
- Pemotongan dan pengilat wafer: berfungsi sebagai platform galas untuk memastikan ketepatan dan kestabilan yang tinggi semasa pemotongan dan penggilapan.
- Proses litografi: Wafer dipasang dalam mesin litografi untuk memastikan kedudukan ketepatan tinggi semasa pendedahan.
- Chemical Mechanical Polishing (CMP) : bertindak sebagai platform sokongan untuk pad penggilap, memberikan tekanan seragam dan pengagihan haba.
2. tiub seramik silikon karbida
- Tiub relau suhu tinggi: digunakan untuk peralatan suhu tinggi seperti relau resapan dan relau pengoksidaan untuk membawa wafer untuk rawatan proses suhu tinggi.
- Proses CVD/PVD: Sebagai tiub galas dalam kebuk tindak balas, tahan terhadap suhu tinggi dan gas menghakis.
- Aksesori peralatan semikonduktor: untuk penukar haba, saluran paip gas, dsb., untuk meningkatkan kecekapan pengurusan haba peralatan.
XKH menawarkan rangkaian penuh perkhidmatan tersuai untuk dulang seramik silikon karbida, cawan sedutan dan tiub seramik silikon karbida. Dulang seramik silikon karbida dan cawan sedutan, XKH boleh disesuaikan mengikut keperluan pelanggan yang berbeza saiz, bentuk dan kekasaran permukaan, dan menyokong rawatan salutan khas, meningkatkan rintangan haus dan rintangan kakisan; Untuk tiub seramik silikon karbida, XKH boleh menyesuaikan pelbagai diameter dalam, diameter luar, panjang dan struktur kompleks (seperti tiub berbentuk atau tiub berliang), dan menyediakan penggilap, salutan anti-pengoksidaan dan proses rawatan permukaan yang lain. XKH memastikan bahawa pelanggan boleh memanfaatkan sepenuhnya manfaat prestasi produk seramik silikon karbida untuk memenuhi keperluan mendesak bagi bidang pembuatan mewah seperti semikonduktor, led dan fotovoltaik.
Gambarajah Terperinci
