Silicon Carbide Seramik Seramik Sucker Silicon Carbide Tube Seramik Bekalan Suhu Tinggi Sintering Pemprosesan Kustom

Silikon karbida dulang seramik sucker silikon karbida tiub seramik bekalan suhu tinggi sintering pemprosesan tersuai gambar

Penerangan ringkas:

Dulang seramik karbida silikon dan tiub seramik karbida silikon adalah bahan prestasi tinggi yang sangat diperlukan dalam pembuatan semikonduktor. Dulang seramik karbida silikon terutamanya digunakan dalam pemprosesan wafer tetap dan galas, untuk memastikan kestabilan proses ketepatan tinggi; Tiub seramik karbida silikon digunakan secara meluas dalam tiub relau suhu tinggi, tiub relau penyebaran dan senario lain untuk menahan persekitaran yang melampau dan mengekalkan pengurusan terma yang cekap. Kedua -duanya didasarkan pada karbida silikon sebagai bahan teras, yang telah menjadi komponen utama dalam industri semikonduktor kerana sifat fizikal dan kimianya yang sangat baik.

Hantarkan e -mel kepada kami

Perincian produk

Tag produk

Ciri -ciri utama:

1. Dulang seramik karbida silikon
- Kekerasan yang tinggi dan rintangan haus: Kekerasan hampir berlian, dan dapat menahan memakai mekanikal dalam pemprosesan wafer untuk masa yang lama.
- Kekonduksian terma yang tinggi dan pekali pengembangan haba yang rendah: Pelesapan haba cepat dan kestabilan dimensi, mengelakkan ubah bentuk yang disebabkan oleh tekanan haba.
- Tinggi dan kemasan permukaan: Kebosanan permukaan terpulang kepada tahap mikron, memastikan hubungan penuh antara wafer dan cakera, mengurangkan pencemaran dan kerosakan.
Kestabilan kimia: Rintangan kakisan yang kuat, sesuai untuk proses pembersihan dan etsa basah dalam pembuatan semikonduktor.
2. Tiub seramik karbida silikon
- Rintangan suhu tinggi: Ia boleh berfungsi dalam persekitaran suhu tinggi di atas 1600 ° C untuk masa yang lama, sesuai untuk proses suhu tinggi semikonduktor.
Rintangan kakisan yang sangat baik: tahan asid, alkali dan pelbagai pelarut kimia, sesuai untuk persekitaran proses yang keras.
- Kekerasan yang tinggi dan rintangan haus: Menentang hakisan zarah dan memakai mekanikal, memanjangkan hayat perkhidmatan.
- Kekonduksian terma yang tinggi dan pekali rendah pengembangan haba: pengaliran cepat haba dan kestabilan dimensi, mengurangkan ubah bentuk atau retak yang disebabkan oleh tekanan haba.

Parameter Produk:

Parameter Dulang Seramik Silicon Carbide:

(Harta benda)		(Unit)	(SSIC)
(Kandungan sic)		(Wt)%	> 99
(Saiz bijian purata)		micron	4-10
(Ketumpatan)		kg/dm3	> 3.14
(Keliangan yang jelas)		VO1%	<0.5
(Kekerasan Vickers)	HV 0.5	GPA	28
() Kekuatan lentur (tiga mata)	20ºC	MPA	450
(Kekuatan mampatan)	20ºC	MPA	3900
(Modulus elastik)	20ºC	GPA	420
(Ketangguhan patah)		MPA/M '%	3.5
(Kekonduksian terma)	20 ° ºC	W/(m*k)	160
(Resistivity)	20 ° ºC	Ohm.cm	106-108
(Pekali pengembangan haba)	A (RT ** ... 80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Suhu operasi maksimum)		oºC	1700

Parameter tiub seramik karbida silikon:

Item	Indeks
α-SIC	99% min
Keliangan yang jelas	16% max
Ketumpatan pukal	2.7g/cm3 min
Kekuatan lentur pada suhu tinggi	100 MPa min
Pekali pengembangan haba	K -1 4.7x10 -6
Koefisien kekonduksian terma (1400ºC)	24 w/mk
Maks. Suhu kerja	1650ºC

Aplikasi utama:

1. Plat seramik karbida silikon
- Pemotongan dan penggilap wafer: Berkhidmat sebagai platform galas untuk memastikan ketepatan dan kestabilan yang tinggi semasa pemotongan dan penggilap.
- Proses litografi: Wafer ditetapkan dalam mesin litografi untuk memastikan kedudukan ketepatan yang tinggi semasa pendedahan.
- Penggilap mekanikal kimia (CMP): Bertindak sebagai platform sokongan untuk menggilap pad, memberikan tekanan seragam dan pengedaran haba.
2. Tiub seramik karbida silikon
- Tiub relau suhu tinggi: Digunakan untuk peralatan suhu tinggi seperti relau penyebaran dan relau pengoksidaan untuk membawa wafer untuk rawatan proses suhu tinggi.
- Proses CVD/PVD: Sebagai tiub galas dalam ruang tindak balas, tahan terhadap suhu tinggi dan gas menghakis.
- Aksesori peralatan semikonduktor: untuk penukar haba, saluran paip gas, dan lain -lain, untuk meningkatkan kecekapan pengurusan terma peralatan.
XKH menawarkan pelbagai perkhidmatan tersuai untuk dulang seramik karbida silikon, cawan sedutan dan tiub seramik karbida silikon. Dulang seramik karbida silikon dan cawan sedutan, XKH boleh disesuaikan mengikut keperluan pelanggan saiz, bentuk dan kekasaran permukaan yang berlainan, dan menyokong rawatan salutan khas, meningkatkan rintangan haus dan rintangan kakisan; Untuk tiub seramik karbida silikon, XKH boleh menyesuaikan pelbagai diameter dalaman, diameter luar, panjang dan struktur kompleks (seperti tiub berbentuk atau tiub berliang), dan menyediakan salutan anti-pengoksidaan dan proses rawatan permukaan yang lain. XKH memastikan pelanggan dapat memanfaatkan sepenuhnya manfaat prestasi produk seramik karbida silikon untuk memenuhi keperluan menuntut bidang pembuatan mewah seperti semikonduktor, LED dan fotovoltaik.