Penyedut dulang seramik silikon karbida Tiub seramik silikon karbida membekalkan pemprosesan tersuai sintering suhu tinggi

Penerangan Ringkas:

Dulang seramik silikon karbida dan tiub seramik silikon karbida adalah bahan berprestasi tinggi yang sangat diperlukan dalam pembuatan semikonduktor. Dulang seramik silikon karbida terutamanya digunakan dalam pemprosesan wafer tetap dan galas, untuk memastikan kestabilan proses ketepatan tinggi; Tiub seramik silikon karbida digunakan secara meluas dalam tiub relau suhu tinggi, tiub relau resapan dan senario lain untuk menahan persekitaran yang melampau dan mengekalkan pengurusan haba yang cekap. Kedua-duanya berasaskan silikon karbida sebagai bahan teras, yang telah menjadi komponen utama dalam industri semikonduktor kerana sifat fizikal dan kimianya yang sangat baik.

Hantar emel kepada kami

Ciri-ciri

Ciri-ciri utama:

1. Dulang seramik silikon karbida
- Kekerasan dan rintangan haus yang tinggi: kekerasannya hampir dengan berlian, dan boleh menahan haus mekanikal dalam pemprosesan wafer untuk masa yang lama.
- Kekonduksian terma yang tinggi dan pekali pengembangan terma yang rendah: pelesapan haba yang cepat dan kestabilan dimensi, mengelakkan ubah bentuk yang disebabkan oleh tekanan terma.
- Kerataan dan kemasan permukaan yang tinggi: Kerataan permukaan adalah sehingga paras mikron, memastikan sentuhan penuh antara wafer dan cakera, sekali gus mengurangkan pencemaran dan kerosakan.
Kestabilan kimia: Rintangan kakisan yang kuat, sesuai untuk proses pembersihan basah dan pengukiran dalam pembuatan semikonduktor.
2. Tiub seramik silikon karbida
- Rintangan suhu tinggi: Ia boleh berfungsi dalam persekitaran suhu tinggi melebihi 1600°C untuk masa yang lama, sesuai untuk proses suhu tinggi semikonduktor.
Rintangan kakisan yang sangat baik: tahan terhadap asid, alkali dan pelbagai pelarut kimia, sesuai untuk persekitaran proses yang keras.
- Kekerasan dan rintangan haus yang tinggi: menahan hakisan zarah dan haus mekanikal, memanjangkan hayat perkhidmatan.
- Kekonduksian terma yang tinggi dan pekali pengembangan terma yang rendah: pengaliran haba yang pantas dan kestabilan dimensi, mengurangkan ubah bentuk atau keretakan yang disebabkan oleh tekanan terma.

Parameter Produk：

Parameter dulang seramik silikon karbida:

(Harta benda)		(Unit)	(ssic)
(Kandungan SiC)		(Berat)%	>99
(Saiz butir purata)		mikron	4-10
(Ketumpatan)		kg/dm3	>3.14
(Keliangan yang ketara)		Vo1%	<0.5
(Kekerasan Vickers)	HV 0.5	GPa	28
() Kekuatan lenturan (tiga mata)	20ºC	MPa	450
(Kekuatan mampatan)	20ºC	MPa	3900
(Modulus Elastik)	20ºC	GPa	420
(Ketahanan patah tulang)		MPa/m'%	3.5
(Kekonduksian terma)	20°ºC	W/(m*K)	160
(Kerintangan)	20°ºC	Ohm.cm	106-108
(Pekali pengembangan haba)	a(RT**...80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Suhu operasi maksimum)		oºC	1700

Parameter tiub seramik silikon karbida:

Barangan	Indeks
α-SIC	99% min
Keliangan yang Ketara	Maksimum 16%
Ketumpatan Pukal	2.7g/cm3 min
Kekuatan Lenturan pada Suhu Tinggi	100 Mpa min
Pekali Pengembangan Terma	K-1 4.7x10 -6
Pekali Kekonduksian Terma (1400ºC)	24 W/mk
Suhu Kerja Maks.	1650ºC

Aplikasi utama:

1. Plat seramik silikon karbida
- Pemotongan dan penggilapan wafer: berfungsi sebagai platform galas untuk memastikan ketepatan dan kestabilan yang tinggi semasa pemotongan dan penggilapan.
- Proses litografi: Wafer dipasang pada mesin litografi untuk memastikan kedudukan berketepatan tinggi semasa pendedahan.
- Penggilapan Mekanikal Kimia (CMP): bertindak sebagai platform sokongan untuk pad penggilap, memberikan tekanan dan pengagihan haba yang seragam.
2. Tiub seramik silikon karbida
- Tiub relau suhu tinggi: digunakan untuk peralatan suhu tinggi seperti relau resapan dan relau pengoksidaan untuk membawa wafer bagi rawatan proses suhu tinggi.
- Proses CVD/PVD: Sebagai tiub galas dalam ruang tindak balas, tahan terhadap suhu tinggi dan gas menghakis.
- Aksesori peralatan semikonduktor: untuk penukar haba, saluran paip gas, dsb., untuk meningkatkan kecekapan pengurusan haba peralatan.
XKH menawarkan pelbagai perkhidmatan tersuai untuk dulang seramik silikon karbida, cawan sedutan dan tiub seramik silikon karbida. Dulang seramik silikon karbida dan cawan sedutan, XKH boleh disesuaikan mengikut keperluan pelanggan dengan pelbagai saiz, bentuk dan kekasaran permukaan, dan menyokong rawatan salutan khas, meningkatkan rintangan haus dan rintangan kakisan; Untuk tiub seramik silikon karbida, XKH boleh menyesuaikan pelbagai diameter dalaman, diameter luar, panjang dan struktur kompleks (seperti tiub berbentuk atau tiub berliang), dan menyediakan penggilapan, salutan anti-pengoksidaan dan proses rawatan permukaan yang lain. XKH memastikan pelanggan dapat memanfaatkan sepenuhnya faedah prestasi produk seramik silikon karbida untuk memenuhi keperluan mendesak bidang pembuatan mewah seperti semikonduktor, LED dan fotovoltaik.