Lengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbida SiC untuk Sistem Pengendalian Kritikal
Gambarajah Terperinci
Memperkenalkan Lengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbida
YangLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidamerupakan komponen canggih yang dibangunkan untuk automasi perindustrian termaju, pemprosesan semikonduktor dan persekitaran ultra bersih. Seni bina bercabangnya yang tersendiri dan permukaan seramik ultra rata menjadikannya sesuai untuk mengendalikan substrat halus, termasuk wafer silikon, panel kaca dan peranti optik. Direkayasa dengan ketepatan dan dihasilkan daripada silikon karbida ultra tulen,Lengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidamenawarkan kekuatan mekanikal, kebolehpercayaan terma dan kawalan pencemaran yang tiada tandingan.
Tidak seperti lengan logam atau plastik konvensional,Lengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidamemberikan prestasi yang stabil dalam keadaan terma, kimia dan vakum yang ekstrem. Sama ada beroperasi di bilik bersih Kelas 1 atau di dalam ruang plasma vakum tinggi, komponen ini memastikan pengangkutan bahagian berharga yang selamat, cekap dan bebas sisa.
Dengan struktur yang disesuaikan untuk lengan robot, pengendali wafer dan alat pemindahan automatik,Lengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidamerupakan peningkatan pintar untuk mana-mana sistem ketepatan tinggi.
Proses Pembuatan Lengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbida
Mewujudkan prestasi tinggiLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidamelibatkan aliran kerja kejuruteraan seramik yang dikawal ketat yang memastikan kebolehulangan, kebolehpercayaan dan kadar kecacatan yang sangat rendah.
1. Kejuruteraan Bahan
Hanya serbuk silikon karbida ketulenan ultra tinggi yang digunakan dalam fabrikasiLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbida, memastikan pencemaran ionik yang rendah dan kekuatan pukal yang tinggi. Serbuk ini diadun dengan tepat dengan bahan tambahan dan pengikat pensinteran untuk mencapai ketumpatan optimum.
2. Membentuk Struktur Asas
Geometri asas bagilengan/tangan garpudibentuk menggunakan penekanan isostatik sejuk atau pengacuan suntikan, yang memastikan ketumpatan hijau yang tinggi dan pengagihan tegasan yang seragam. Konfigurasi bentuk-U dioptimumkan untuk nisbah kekakuan kepada berat dan tindak balas dinamik.
3. Proses Sintering
Badan hijau ituLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidadisinter dalam relau gas lengai suhu tinggi pada suhu lebih 2000°C. Langkah ini memastikan ketumpatan hampir teori, menghasilkan komponen yang menahan keretakan, lengkungan dan sisihan dimensi di bawah beban terma dunia sebenar.
4. Pengisaran dan Pemesinan Ketepatan
Perkakas berlian CNC termaju digunakan untuk membentuk dimensi akhirLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon KarbidaToleransi yang ketat (±0.01 mm) dan kemasan permukaan paras cermin mengurangkan pembebasan zarah dan tekanan mekanikal.
5. Pengkondisian dan Pembersihan Permukaan
Kemasan permukaan akhir termasuk penggilapan kimia dan pembersihan ultrasonik untuk menyediakanlengan/tangan garpuuntuk penyepaduan langsung dalam sistem ultra-bersih. Salutan pilihan (CVD-SiC, lapisan anti-reflektif) juga tersedia.
Proses yang teliti ini menjamin setiapLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidamemenuhi piawaian perindustrian yang paling ketat, termasuk keperluan bilik bersih SEMI dan ISO.
Parameter Lengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbida
| Barang | Syarat Ujian | Data | Unit |
| Kandungan Silikon Karbida | / | >99.5 | % |
| Saiz Bijirin Purata | / | 4-10 | mikron |
| Ketumpatan | / | >3.14 | g/cm3 |
| Keliangan yang Ketara | / | <0.5 | % Volum |
| Kekerasan Vickers | HV0.5 | 2800 | Kg/mm2 |
| Modulus Pecahan (3 Mata) | Saiz bar ujian: 3 x 4 x 40mm | 450 | MPa |
| Kekuatan Mampatan | 20°C | 3900 | MPa |
| Modulus Keanjalan | 20°C | 420 | GPa |
| Ketangguhan Patah | / | 3.5 | MPa/m1/2 |
| Kekonduksian Terma | 20°C | 160 | W/(mK) |
| Kerintangan Elektrik | 20°C | 106-108 | Ωcm |
| Pekali Pengembangan Terma | 20°C-800°C | 4.3 | K-110-6 |
| Suhu Aplikasi Maks. | Atmosfera Oksida | 1600 | °C |
| Suhu Aplikasi Maks. | Atmosfera Lengai | 1950 | °C |
Aplikasi Lengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbida
YangLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidadireka bentuk untuk digunakan dalam aplikasi berketepatan tinggi, berisiko tinggi dan sensitif terhadap pencemaran. Ia membolehkan pengendalian, pemindahan atau sokongan komponen kritikal yang andal tanpa kompromi.
➤ Industri Semikonduktor
-
Digunakan sebagai garpu robotik dalam pemindahan wafer bahagian hadapan dan stesen FOUP.
-
Disepadukan ke dalam ruang vakum untuk proses pengukiran plasma dan PVD/CVD.
-
Berfungsi sebagai lengan pembawa dalam metrologi dan alat penjajaran wafer.
YangLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidamenghapuskan risiko nyahcas elektrostatik (ESD), menyokong ketepatan dimensi dan menahan kakisan plasma.
➤ Fotonik dan Optik
-
Menyokong kanta halus, kristal laser dan sensor semasa fabrikasi atau pemeriksaan.
Kekakuannya yang tinggi menghalang getaran, manakala badan seramik menahan pencemaran permukaan optik.
➤ Pengeluaran Paparan dan Panel
-
Mengendalikan kaca nipis, modul OLED dan substrat LCD semasa pengangkutan atau pemeriksaan.
Yang rata dan lengai secara kimiaLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidamelindungi daripada calar atau ukiran kimia.
➤ Instrumen Aeroangkasa dan Saintifik
-
Digunakan dalam pemasangan optik satelit, robotik vakum dan persediaan talian pancaran sinkrotron.
Berfungsi dengan sempurna dalam bilik bersih gred angkasa lepas dan persekitaran yang terdedah kepada radiasi.
Dalam setiap bidang,Lengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidameningkatkan kecekapan sistem, mengurangkan kegagalan sebahagian dan meminimumkan masa henti.
Soalan Lazim – Soalan Lazim tentang Lengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbida
S1: Apakah yang menjadikan Lengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbida lebih baik daripada alternatif logam?
YangLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidamempunyai kekerasan yang unggul, ketumpatan yang lebih rendah, rintangan kimia yang lebih baik dan pengembangan haba yang jauh lebih rendah berbanding logam. Ia juga serasi dengan bilik bersih dan bebas daripada kakisan atau penjanaan zarah.
S2: Bolehkah saya meminta dimensi tersuai untuk Lengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbida saya?
Ya. Kami menawarkan penyesuaian lengkap, termasuk lebar garpu, ketebalan, lubang pelekap, potongan dan rawatan permukaan. Sama ada untuk wafer 6", 8", atau 12", pilihan andalengan/tangan garpuboleh disesuaikan mengikut kesesuaian.
S3: Berapa lama Lengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbida tahan di bawah plasma atau vakum?
Disebabkan oleh bahan SiC berketumpatan tinggi dan sifat lengai,lengan/tangan garpukekal berfungsi walaupun selepas beribu-ribu kitaran proses. Ia menunjukkan haus minimum di bawah beban haba plasma atau vakum yang agresif.
S4: Adakah produk ini sesuai untuk bilik bersih ISO Kelas 1?
Sudah tentu.Lengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidadihasilkan dan dibungkus di kemudahan bilik bersih yang diperakui, dengan tahap zarah yang jauh di bawah keperluan ISO Kelas 1.
S5: Apakah suhu operasi maksimum untuk lengan/tangan garpu ini?
YangLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidaboleh beroperasi secara berterusan sehingga 1500°C, menjadikannya sesuai untuk kegunaan langsung dalam ruang proses suhu tinggi dan sistem vakum terma.
Soalan Lazim ini mencerminkan kebimbangan teknikal yang paling biasa daripada jurutera, pengurus makmal dan penyepadu sistem yang menggunakanLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbida.
Tentang Kami
XKH pakar dalam pembangunan, pengeluaran dan penjualan kaca optik khas dan bahan kristal baharu yang berteknologi tinggi. Produk kami menawarkan elektronik optik, elektronik pengguna dan ketenteraan. Kami menawarkan komponen optik nilam, penutup kanta telefon bimbit, Seramik, LT, Silikon Karbida SIC, Kuarza dan wafer kristal semikonduktor. Dengan kepakaran mahir dan peralatan canggih, kami cemerlang dalam pemprosesan produk bukan standard, bertujuan untuk menjadi perusahaan berteknologi tinggi bahan optoelektronik yang terkemuka.










