Lengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbida SiC untuk Sistem Pengendalian Kritikal

Penerangan ringkas:

TheLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidaialah komponen termaju yang dibangunkan untuk automasi industri termaju, pemprosesan semikonduktor dan persekitaran ultra-bersih. Seni bina bercabang yang berbeza dan permukaan seramik ultra-rata menjadikannya sesuai untuk mengendalikan substrat halus, termasuk wafer silikon, panel kaca dan peranti optik. Kejuruteraan dengan ketepatan dan dihasilkan daripada karbida silikon ultra tulen, yangLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidamenawarkan kekuatan mekanikal yang tiada tandingan, kebolehpercayaan terma, dan kawalan pencemaran.

Hantar e-mel kepada kami

Ciri-ciri

Gambarajah Terperinci

Memperkenalkan Lengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbida

Tidak seperti senjata logam atau plastik konvensional,Lengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidamemberikan prestasi yang stabil dalam keadaan terma, kimia dan vakum yang melampau. Sama ada beroperasi dalam bilik bersih Kelas 1 atau dalam ruang plasma vakum tinggi, komponen ini memastikan pengangkutan bahagian berharga yang selamat, cekap dan bebas sisa.

Dengan struktur yang disesuaikan untuk lengan robot, pengendali wafer dan alat pemindahan automatik,Lengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidaialah peningkatan pintar untuk mana-mana sistem berketepatan tinggi.

Proses Pengilangan Lengan/Tangan Keramik Silikon Karbida

Mencipta prestasi tinggiLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidamelibatkan aliran kerja kejuruteraan seramik yang dikawal ketat yang memastikan kebolehulangan, kebolehpercayaan dan kadar kecacatan ultra-rendah.

1. Kejuruteraan Bahan

Hanya serbuk silikon karbida ketulenan ultra tinggi digunakan dalam fabrikasiLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbida, memastikan pencemaran ion rendah dan kekuatan pukal yang tinggi. Serbuk diadun tepat dengan bahan tambahan pensinteran dan pengikat untuk mencapai ketumpatan optimum.

2. Membentuk Struktur Asas

Geometri asas bagilengan/tangan garpudibentuk menggunakan penekan isostatik sejuk atau pengacuan suntikan, yang memastikan ketumpatan hijau tinggi dan pengagihan tegasan seragam. Konfigurasi bentuk U dioptimumkan untuk nisbah kekakuan kepada berat dan tindak balas dinamik.

3. Proses Pensinteran

Badan hijauLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidadisinter dalam relau gas lengai suhu tinggi pada lebih 2000°C. Langkah ini memastikan ketumpatan hampir teori, menghasilkan komponen yang menentang keretakan, meledingkan dan sisihan dimensi di bawah beban terma dunia sebenar.

4. Pengisaran dan Pemesinan Ketepatan

Perkakas berlian CNC lanjutan digunakan untuk membentuk dimensi akhirLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbida. Toleransi ketat (±0.01 mm) dan kemasan permukaan paras cermin mengurangkan pelepasan zarah dan tegasan mekanikal.

5. Penyaman Permukaan dan Pembersihan

Kemasan permukaan akhir termasuk penggilap kimia dan pembersihan ultrasonik untuk menyediakanlengan/tangan garpuuntuk penyepaduan langsung dalam sistem ultra-bersih. Salutan pilihan (CVD-SiC, lapisan anti-reflektif) juga tersedia.

Proses yang teliti ini menjamin bahawa setiapLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidamemenuhi piawaian industri yang paling ketat, termasuk keperluan bilik bersih SEMI dan ISO.

Paramete Lengan/Tangan Seramik Silikon Karbida

item	Syarat Ujian	Data	Unit
Kandungan Silicon Carbide	/	>99.5	%
Saiz Bijian Purata	/	4-10	mikron
Ketumpatan	/	>3.14	g/cm3
Keliangan Jelas	/	<0.5	Vol %
Kekerasan Vickers	HV0.5	2800	Kg/mm2
Modulus Pecah (3 Mata)	Saiz bar ujian: 3 x 4 x 40mm	450	MPa
Kekuatan Mampatan	20°C	3900	MPa
Modulus Keanjalan	20°C	420	GPa
Keliatan Patah	/	3.5	MPa/m^1/2
Kekonduksian Terma	20°C	160	W/(mK)
Kerintangan Elektrik	20°C	10⁶-10⁸	Ωcm
Pekali Pengembangan Terma	20°C-800°C	4.3	K^-110^-6
Maks. Suhu Aplikasi	Suasana Oksida	1600	°C
Maks. Suhu Aplikasi	Suasana Lengai	1950	°C

Penggunaan Lengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbida

TheLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidadireka untuk digunakan dalam aplikasi berketepatan tinggi, berisiko tinggi dan sensitif terhadap pencemaran. Ia membolehkan pengendalian, pemindahan atau sokongan yang boleh dipercayai bagi komponen kritikal dengan sifar kompromi.

➤ Industri Semikonduktor

Digunakan sebagai garpu robot dalam pemindahan wafer hadapan dan stesen FOUP.
Disepadukan ke dalam ruang vakum untuk proses etsa plasma dan PVD/CVD.
Berfungsi sebagai cabang pembawa dalam metrologi dan alat penjajaran wafer.

TheLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidamenghapuskan risiko nyahcas elektrostatik (ESD), menyokong ketepatan dimensi dan menahan kakisan plasma.

➤ Fotonik dan Optik

Menyokong kanta halus, kristal laser dan penderia semasa fabrikasi atau pemeriksaan.
Kekukuhannya yang tinggi menghalang getaran, manakala badan seramik menahan pencemaran permukaan optik.

➤ Paparan dan Pengeluaran Panel

Mengendalikan kaca nipis, modul OLED dan substrat LCD semasa pengangkutan atau pemeriksaan.
Yang rata dan lengai secara kimiaLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidamelindungi daripada calar atau goresan kimia.

➤ Aeroangkasa dan Instrumen Saintifik

Digunakan dalam pemasangan optik satelit, robotik vakum dan tetapan garis pancaran synchrotron.
Berprestasi dengan sempurna dalam bilik bersih gred angkasa dan persekitaran yang terdedah kepada sinaran.

Dalam setiap bidang, yangLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidameningkatkan kecekapan sistem, mengurangkan kegagalan bahagian, dan meminimumkan masa henti.

Soalan Lazim – Soalan Lazim mengenai Lengan/Tangan Seramik Silikon Karbida

S1: Apakah yang menjadikan Lengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbida lebih baik daripada alternatif logam?

TheLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidamempunyai kekerasan yang lebih baik, ketumpatan yang lebih rendah, rintangan kimia yang lebih baik, dan pengembangan haba yang kurang ketara daripada logam. Ia juga serasi dengan bilik bersih dan bebas daripada hakisan atau penjanaan zarah.

S2: Bolehkah saya meminta dimensi tersuai untuk Lengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbida saya?

ya. Kami menawarkan penyesuaian lengkap, termasuk lebar garpu, ketebalan, lubang pelekap, potongan dan rawatan permukaan. Sama ada untuk wafer 6", 8", atau 12", andalengan/tangan garpuboleh disesuaikan mengikut kesesuaian.

S3: Berapa lama lengan/tangan seramik silikon karbida bertahan di bawah plasma atau vakum?

Terima kasih kepada bahan SiC berketumpatan tinggi dan sifat lengai, yanglengan/tangan garpukekal berfungsi walaupun selepas beribu-ribu kitaran proses. Ia menunjukkan kehausan minimum di bawah beban haba plasma atau vakum yang agresif.

S4: Adakah produk sesuai untuk bilik bersih Kelas 1 ISO?

betul-betul. TheLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidadihasilkan dan dibungkus dalam kemudahan bilik bersih yang diperakui, dengan paras zarah jauh di bawah keperluan Kelas ISO 1.

S5: Apakah suhu operasi maksimum untuk lengan/tangan garpu ini?

TheLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbidaboleh beroperasi secara berterusan sehingga 1500°C, menjadikannya sesuai untuk kegunaan terus dalam ruang proses suhu tinggi dan sistem vakum haba.

Soalan Lazim ini mencerminkan kebimbangan teknikal yang paling biasa daripada jurutera, pengurus makmal dan penyepadu sistem yang menggunakanLengan/Tangan Garpu Seramik Silikon Karbida.

Tentang Kami

XKH pakar dalam pembangunan berteknologi tinggi, pengeluaran dan penjualan kaca optik khas dan bahan kristal baharu. Produk kami menyediakan perkhidmatan elektronik optik, elektronik pengguna dan ketenteraan. Kami menawarkan komponen optik Sapphire, penutup kanta telefon mudah alih, Seramik, LT, Silicon Carbide SIC, Kuarza dan wafer kristal semikonduktor. Dengan kepakaran mahir dan peralatan canggih, kami cemerlang dalam pemprosesan produk bukan standard, menyasarkan untuk menjadi perusahaan teknologi tinggi bahan optoelektronik terkemuka.