Peringkat Galas Udara SiC Ultra-Ketepatan

Imej Pilihan Peringkat Galas Udara SiC Ultra-Kejituan

Penerangan Ringkas:

Dengan evolusi berterusan industri semikonduktor, peralatan pemprosesan dan pemeriksaan memerlukan prestasi yang semakin tinggi. Berdasarkan kepakaran yang luas dalam kawalan gerakan dan kedudukan aras nanometer, kami telah membangunkan peringkat galas udara ultra jitu paksi dua jenis H yang satah.

Hantar emel kepada kami

Ciri-ciri

Gambarajah Terperinci

Gambaran Keseluruhan

Direkayasa dengan struktur seramik silikon karbida (SiC) yang dioptimumkan unsur terhingga dan teknologi galas udara terpampas, pentas ini memberikan ketepatan, ketegaran dan tindak balas dinamik yang luar biasa. Ia sesuai untuk:

Pemprosesan dan pemeriksaan semikonduktor
Fabrikasi mikro/nano dan metrologi
Pemotongan dan penggilapan lalat skala nanometer
Pengimbasan ketepatan berkelajuan tinggi

Ciri-ciri Utama

Laluan panduan galas udara SiCuntuk kekakuan dan ketepatan ultra tinggi
Dinamik tinggi: halaju sehingga 1 m/s, pecutan sehingga 4 g, mendap pantas
Paksi Y gantry dwi-pemacumemastikan kapasiti dan kestabilan beban yang tinggi
Pilihan pengekod: parutan optik atau interferometer laser
Ketepatan kedudukan: ±0.15 µm;kebolehulangan: ±75 nm
Penghalaan kabel yang dioptimumkanuntuk reka bentuk yang bersih dan kebolehpercayaan jangka panjang
Konfigurasi yang boleh disesuaikanuntuk keperluan khusus aplikasi

Reka Bentuk Ultra-Ketepatan & Seni Bina Tanpa Sentuhan, Pacuan Terus

Bingkai Seramik SiC: ~5× kekakuan aloi aluminium dan ~5× pengembangan haba yang lebih rendah, memastikan kestabilan kelajuan tinggi dan keteguhan haba.
Galas Udara BerkompensasiReka bentuk proprietari meningkatkan kekakuan, kapasiti beban dan kestabilan gerakan.
Prestasi DinamikMenyokong halaju 1 m/s dan pecutan 4 g, sesuai untuk proses daya pemprosesan tinggi.
Integrasi Lancar: Sesuai dengan sistem pengasingan getaran, peringkat putar, modul kecondongan dan platform pengendalian wafer.
Pengurusan Kabel: Jejari lenturan terkawal meminimumkan tekanan untuk jangka hayat yang lebih lama.

Motor Linear Tanpa Teras: Gerakan lancar dengan sifar daya cogging.
Pemacu Berbilang Motor: Penempatan motor satah beban meningkatkan kelurusan, kerataan dan ketepatan sudut.
Pengasingan TermaMotor diasingkan daripada struktur pentas; penyejukan udara atau air pilihan untuk kitaran tugas tinggi.

Spesifikasi

Model	400-400	500-500	600-600
Paksi	X (imbasan) / Y (langkah)	X (imbasan) / Y (langkah)	X (imbasan) / Y (langkah)
Perjalanan (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Ketepatan (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
Kebolehulangan (nm)	±75	±100	±100
Resolusi (nm)	0.3	0.3	0.3
Kelajuan Maksimum (m/s)	1	1	1
Pecutan (g)	4	4	4
Kelurusan (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
Kestabilan (nm)	±5	±5	±5
Beban Maksimum (kg)	20	20	20
Pitch/Roll/Yaw (lengkok-saat)	±1	±1	±1

Syarat Ujian:

Bekalan udara: bersih, kering; takat embun ≤ 0°F; penapisan zarah ≤ 0.25 μm; atau 99.99% nitrogen.
Ketepatan diukur 25 mm di atas pusat pentas pada 20±1 °C, 40–60% RH.

Aplikasi

Litografi semikonduktor, pemeriksaan dan pengendalian wafer
Fabrikasi mikro/nano dan metrologi ketepatan
Pembuatan optik dan interferometri canggih
Aeroangkasa dan penyelidikan saintifik lanjutan

Soalan Lazim – Peringkat Galas Udara Silikon Karbida

1. Apakah itu peringkat pembawa udara?

Pentas berudara menggunakan filem nipis udara bertekanan antara pentas dan laluan panduan untuk menyediakantanpa geseran, bebas haus dan pergerakan ultra lancarTidak seperti galas mekanikal konvensional, ia menghapuskan gelinciran melekat, memberikan ketepatan tahap nanometer dan menyokong kebolehpercayaan jangka panjang.

2. Mengapakah silikon karbida (SiC) perlu digunakan untuk struktur pentas?

Kekakuan tinggi: ~5× daripada aloi aluminium, meminimumkan ubah bentuk semasa gerakan dinamik.
Pengembangan haba yang rendah~5× lebih rendah daripada aluminium, mengekalkan ketepatan di bawah variasi suhu.
RinganKetumpatan yang lebih rendah berbanding keluli, membolehkan operasi berkelajuan tinggi dan pecutan tinggi.
Kestabilan yang sangat baik: Redaman dan ketegaran unggul untuk kedudukan ultra-ketepatan.

3. Adakah pentas memerlukan pelinciran atau penyelenggaraan?

Tiada pelinciran tradisional diperlukan kerana terdapattiada sentuhan mekanikalPenyelenggaraan yang disyorkan termasuk:

Membekalkanudara termampat atau nitrogen yang bersih dan kering
Pemeriksaan berkala penapis dan pengering
Pemantauan kabel dan sistem penyejukan

4. Apakah keperluan bekalan udara?

Takat embun: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Penapisan zarah: ≤ 0.25 μm
Udara bersih dan kering atau 99.99% nitrogen tulen
Tekanan stabil dengan turun naik yang minimum

Tentang Kami

XKH pakar dalam pembangunan, pengeluaran dan penjualan kaca optik khas dan bahan kristal baharu yang berteknologi tinggi. Produk kami menawarkan elektronik optik, elektronik pengguna dan ketenteraan. Kami menawarkan komponen optik nilam, penutup kanta telefon bimbit, Seramik, LT, Silikon Karbida SIC, Kuarza dan wafer kristal semikonduktor. Dengan kepakaran mahir dan peralatan canggih, kami cemerlang dalam pemprosesan produk bukan standard, bertujuan untuk menjadi perusahaan berteknologi tinggi bahan optoelektronik yang terkemuka.