100mm 4 inci GaN pada wafer Epi-lapisan Nilam Wafer epitaxial gallium nitride

(1) Pembakar suhu tinggi, substrat nilam pertama kali dipanaskan hingga 1050 ℃ dalam suasana hidrogen, tujuannya adalah untuk membersihkan permukaan substrat;

(2) Apabila suhu substrat menurun kepada 510 ℃, lapisan penimbal GaN/AlN suhu rendah dengan ketebalan 30nm diendapkan pada permukaan substrat nilam;

(3) Kenaikan suhu kepada 10 ℃, ammonia gas tindak balas, trimetilgallium dan silan disuntik, masing-masing mengawal kadar aliran yang sepadan, dan GaN jenis N doped silikon dengan ketebalan 4um ditanam;

(4) Gas tindak balas trimetil aluminium dan trimetil galium digunakan untuk menyediakan benua N-jenis A⒑ berdop silikon dengan ketebalan 0.15um;

(5) InGaN berdop Zn 50nm telah disediakan dengan menyuntik trimetilgallium, trimetilindium, dietilzink dan ammonia pada suhu 8O0 ℃ dan mengawal kadar aliran berbeza masing-masing;

(6) Suhu dinaikkan kepada 1020 ℃, trimethylaluminum, trimethylgallium dan bis (cyclopentadienyl) magnesium disuntik untuk menyediakan 0.15um Mg doped P-jenis AlGaN dan 0.5um Mg doped P-jenis G glukosa darah;

(7) Filem GaN Sibuyan jenis P berkualiti tinggi diperoleh dengan penyepuhlindapan dalam atmosfera nitrogen pada 700 ℃;

(8) Goresan pada permukaan stasis G jenis P untuk mendedahkan permukaan stasis G jenis N;

(9) Penyejatan plat sentuhan Ni/Au pada permukaan p-GaNI, penyejatan plat sentuhan △/Al pada permukaan ll-GaN untuk membentuk elektrod.