Substrat SiC 12 Inci Diameter 300mm Ketebalan 750μm Jenis 4H-N boleh disesuaikan
Parameter teknikal
Spesifikasi Substrat Silikon Karbida (SiC) 12 inci | |||||
Gred | Pengeluaran ZeroMPD Gred(Gred Z) | Pengeluaran Standard Gred(Gred P) | Gred Dummy (Gred D) | ||
Diameter | 3 0 0 mm~1305mm | ||||
Ketebalan | 4H-N | 750μm±15μm | 750μm±25μm | ||
4H-SI | 750μm±15μm | 750μm±25μm | |||
Orientasi Wafer | Paksi luar : 4.0° ke arah <1120 >±0.5° untuk 4H-N, Pada paksi : <0001>±0.5° untuk 4H-SI | ||||
Ketumpatan Mikropaip | 4H-N | ≤0.4cm-2 | ≤4sm-2 | ≤25cm-2 | |
4H-SI | ≤5cm-2 | ≤10cm-2 | ≤25cm-2 | ||
Kerintangan | 4H-N | 0.015~0.024 Ω·cm | 0.015~0.028 Ω·cm | ||
4H-SI | ≥1E10 Ω·cm | ≥1E5 Ω·cm | |||
Orientasi Rata Utama | {10-10} ±5.0° | ||||
Panjang Rata Utama | 4H-N | T/A | |||
4H-SI | Takik | ||||
Pengecualian Edge | 3 mm | ||||
LTV/TTV/Bow /Warp | ≤5μm/≤15μm/≤35 μm/≤55 μm | ≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm | |||
Kekasaran | Poland Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
Tepi Retak Oleh Cahaya Intensiti Tinggi Plat Hex Dengan Cahaya Intensiti Tinggi Kawasan Politaip Mengikut Cahaya Intensiti Tinggi Kemasukan Karbon Visual Calar Permukaan Silikon Oleh Cahaya Intensiti Tinggi | tiada Luas kumulatif ≤0.05% tiada Luas kumulatif ≤0.05% tiada | Panjang kumulatif ≤ 20 mm, panjang tunggal≤2 mm Luas kumulatif ≤0.1% Luas terkumpul≤3% Luas kumulatif ≤3% Panjang kumulatif≤1×diameter wafer | |||
Cip Tepi Dengan Cahaya Intensiti Tinggi | Tiada yang dibenarkan ≥0.2mm lebar dan kedalaman | 7 dibenarkan, ≤1 mm setiap satu | |||
(TSD) Kehelan skru benang | ≤500 cm-2 | T/A | |||
(BPD) Kehelan satah asas | ≤1000 cm-2 | T/A | |||
Pencemaran Permukaan Silikon Oleh Cahaya Intensiti Tinggi | tiada | ||||
Pembungkusan | Kaset Berbilang Wafer Atau Bekas Wafer Tunggal | ||||
Nota: | |||||
1 Had kecacatan dikenakan pada keseluruhan permukaan wafer kecuali untuk kawasan pengecualian tepi. 2Calar hendaklah diperiksa pada muka Si sahaja. 3 Data kehelan hanya daripada wafer terukir KOH. |
Ciri-ciri Utama
1. Kapasiti Pengeluaran dan Kelebihan Kos: Pengeluaran besar-besaran substrat SiC 12 inci (substrat silikon karbida 12 inci) menandakan era baharu dalam pembuatan semikonduktor. Bilangan cip yang boleh diperoleh daripada wafer tunggal mencapai 2.25 kali ganda daripada substrat 8 inci, secara langsung memacu lonjakan dalam kecekapan pengeluaran. Maklum balas pelanggan menunjukkan bahawa penggunaan substrat 12-inci telah mengurangkan kos pengeluaran modul kuasa mereka sebanyak 28%, mewujudkan kelebihan daya saing yang menentukan dalam pasaran yang dipertikaikan sengit.
2. Sifat Fizikal Cemerlang: Substrat SiC 12 inci mewarisi semua kelebihan bahan silikon karbida - kekonduksian termanya adalah 3 kali ganda daripada silikon, manakala kekuatan medan pecahannya mencapai 10 kali ganda daripada silikon. Ciri-ciri ini membolehkan peranti berasaskan substrat 12 inci beroperasi secara stabil dalam persekitaran suhu tinggi melebihi 200°C, menjadikannya amat sesuai untuk aplikasi yang menuntut seperti kenderaan elektrik.
3. Teknologi Rawatan Permukaan: Kami telah membangunkan proses penggilap mekanikal kimia baru (CMP) khusus untuk substrat SiC 12 inci, mencapai kerataan permukaan tahap atom (Ra<0.15nm). Kejayaan ini menyelesaikan cabaran seluruh dunia dalam rawatan permukaan wafer silikon karbida berdiameter besar, membersihkan halangan untuk pertumbuhan epitaxial berkualiti tinggi.
4. Prestasi Pengurusan Terma: Dalam aplikasi praktikal, substrat SiC 12-inci menunjukkan keupayaan pelesapan haba yang luar biasa. Data ujian menunjukkan bahawa di bawah ketumpatan kuasa yang sama, peranti yang menggunakan substrat 12 inci beroperasi pada suhu 40-50°C lebih rendah daripada peranti berasaskan silikon, memanjangkan hayat perkhidmatan peralatan dengan ketara.
Aplikasi Utama
1. Ekosistem Kenderaan Tenaga Baharu: Substrat SiC 12 inci (substrat silikon karbida 12 inci) sedang merevolusikan seni bina rangkaian kuasa kenderaan elektrik. Daripada pengecas onboard (OBC) kepada penyongsang pemacu utama dan sistem pengurusan bateri, peningkatan kecekapan yang dibawa oleh substrat 12 inci meningkatkan julat kenderaan sebanyak 5-8%. Laporan daripada pembuat kereta terkemuka menunjukkan bahawa penggunaan substrat 12 inci kami mengurangkan kehilangan tenaga dalam sistem pengecasan pantas mereka sebanyak 62%.
2. Sektor Tenaga Boleh Diperbaharui: Dalam stesen janakuasa fotovoltaik, penyongsang berdasarkan substrat SiC 12 inci bukan sahaja menampilkan faktor bentuk yang lebih kecil tetapi juga mencapai kecekapan penukaran melebihi 99%. Terutamanya dalam senario penjanaan teragih, kecekapan tinggi ini diterjemahkan kepada penjimatan tahunan ratusan ribu yuan dalam kerugian elektrik bagi pengendali.
3. Automasi Industri: Penukar frekuensi yang menggunakan substrat 12 inci menunjukkan prestasi cemerlang dalam robot industri, alatan mesin CNC dan peralatan lain. Ciri pensuisan frekuensi tinggi mereka meningkatkan kelajuan tindak balas motor sebanyak 30% sambil mengurangkan gangguan elektromagnet kepada satu pertiga daripada penyelesaian konvensional.
4. Inovasi Elektronik Pengguna: Teknologi pengecasan pantas telefon pintar generasi akan datang telah mula menggunakan substrat SiC 12 inci. Diunjurkan bahawa produk pengecasan pantas melebihi 65W akan beralih sepenuhnya kepada penyelesaian silikon karbida, dengan substrat 12 inci muncul sebagai pilihan prestasi kos yang optimum.
Perkhidmatan Tersuai XKH untuk Substrat SiC 12 inci
Untuk memenuhi keperluan khusus untuk substrat SiC 12 inci (substrat silikon karbida 12 inci), XKH menawarkan sokongan perkhidmatan yang komprehensif:
1. Penyesuaian Ketebalan:
Kami menyediakan substrat 12-inci dalam pelbagai spesifikasi ketebalan termasuk 725μm untuk memenuhi keperluan aplikasi yang berbeza.
2. Kepekatan doping:
Pengilangan kami menyokong pelbagai jenis kekonduksian termasuk substrat jenis-n dan jenis-p, dengan kawalan kerintangan yang tepat dalam julat 0.01-0.02Ω·cm.
3. Perkhidmatan Pengujian:
Dengan peralatan ujian tahap wafer yang lengkap, kami menyediakan laporan pemeriksaan penuh.
XKH memahami bahawa setiap pelanggan mempunyai keperluan unik untuk substrat SiC 12 inci. Oleh itu, kami menawarkan model kerjasama perniagaan yang fleksibel untuk menyediakan penyelesaian yang paling kompetitif, sama ada untuk:
· Sampel R&D
· Jumlah pembelian pengeluaran
Perkhidmatan tersuai kami memastikan kami dapat memenuhi keperluan teknikal dan pengeluaran khusus anda untuk substrat SiC 12 inci.


