150mm 200mm 6inci 8inci GaN pada wafer lapisan Epi Silikon Gallium nitride epitaxial wafer
Kaedah pembuatan
Proses pembuatan melibatkan pertumbuhan lapisan GaN pada substrat nilam menggunakan teknik canggih seperti pemendapan wap kimia logam-organik (MOCVD) atau epitaksi rasuk molekul (MBE). Proses pemendapan dijalankan di bawah keadaan terkawal untuk memastikan kualiti kristal yang tinggi dan filem seragam.
Aplikasi GaN-On-Sapphire 6 inci: Cip substrat nilam 6 inci digunakan secara meluas dalam komunikasi gelombang mikro, sistem radar, teknologi wayarles dan optoelektronik.
Beberapa aplikasi biasa termasuk
1. Penguat kuasa Rf
2. industri lampu LED
3. Peralatan komunikasi rangkaian tanpa wayar
4. Peranti elektronik dalam persekitaran suhu tinggi
5. Peranti optoelektronik
Spesifikasi produk
- Saiz: Diameter substrat ialah 6 inci (kira-kira 150 mm).
- Kualiti permukaan: Permukaan telah digilap halus untuk memberikan kualiti cermin yang sangat baik.
- Ketebalan: Ketebalan lapisan GaN boleh disesuaikan mengikut keperluan khusus.
- Pembungkusan: Substrat dibungkus dengan teliti dengan bahan anti-statik untuk mengelakkan kerosakan semasa pengangkutan.
- Tepi penentududukan: Substrat mempunyai tepi penentududukan khusus yang memudahkan penjajaran dan operasi semasa penyediaan peranti.
- Parameter lain: Parameter khusus seperti kenipisan, kerintangan dan kepekatan doping boleh dilaraskan mengikut keperluan pelanggan.
Dengan sifat bahan yang unggul dan aplikasi yang pelbagai, wafer substrat nilam 6 inci merupakan pilihan yang boleh dipercayai untuk pembangunan peranti semikonduktor berprestasi tinggi dalam pelbagai industri.
Substrat | 6” 1mm <111> jenis-p Si | 6” 1mm <111> jenis-p Si |
Epi TebalAvg | ~5um | ~7um |
Epi ThickUnif | <2% | <2% |
Tunduk | +/-45um | +/-45um |
retak | <5mm | <5mm |
BV menegak | >1000V | >1400V |
HEMT Al% | 25-35% | 25-35% |
HEMT TebalPurata | 20-30nm | 20-30nm |
Insitu SiN Cap | 5-60nm | 5-60nm |
2DEG conc. | ~1013cm-2 | ~1013cm-2 |
mobiliti | ~2000cm2/Vs (<2%) | ~2000cm2/Vs (<2%) |
Rsh | <330ohm/sq (<2%) | <330ohm/sq (<2%) |