Wafer Safir 156mm 159mm 6 inci untuk pembawa C-Plane DSP TTV
Spesifikasi
| Barang | Wafer Safir C-plane(0001) 6 inci | |
| Bahan Kristal | 99,999%, Ketulenan Tinggi, Al2O3 Monokristalin | |
| Gred | Perdana, Epi-Sedia | |
| Orientasi Permukaan | Satah-C(0001) | |
| Satah-C tidak bersudut ke arah paksi-M 0.2 +/- 0.1° | ||
| Diameter | 100.0 mm +/- 0.1 mm | |
| Ketebalan | 650 µm +/- 25 µm | |
| Orientasi Rata Utama | Satah C(00-01) +/- 0.2° | |
| Digilap Sebelah Tunggal | Permukaan Hadapan | Epi-digilap, Ra < 0.2 nm (oleh AFM) |
| (SSP) | Permukaan Belakang | Kisar halus, Ra = 0.8 μm hingga 1.2 μm |
| Digilap Dua Sisi | Permukaan Hadapan | Epi-digilap, Ra < 0.2 nm (oleh AFM) |
| (DSP) | Permukaan Belakang | Epi-digilap, Ra < 0.2 nm (oleh AFM) |
| TTV | < 20 µm | |
| BUSU | < 20 µm | |
| WARP | < 20 µm | |
| Pembersihan / Pembungkusan | Pembersihan bilik bersih Kelas 100 dan pembungkusan vakum, | |
| 25 keping dalam satu pembungkusan kaset atau pembungkusan sekeping tunggal. | ||
Kaedah Kylopoulos (kaedah KY) kini digunakan oleh banyak syarikat di China untuk menghasilkan kristal nilam untuk kegunaan dalam industri elektronik dan optik.
Dalam proses ini, aluminium oksida berketulenan tinggi dicairkan dalam mangkuk pijar pada suhu melebihi 2100 darjah Celsius. Biasanya mangkuk pijar diperbuat daripada tungsten atau molibdenum. Kristal biji yang berorientasikan tepat direndam dalam alumina cair. Kristal biji ditarik ke atas secara perlahan dan boleh diputar serentak. Dengan mengawal kecerunan suhu, kadar tarikan dan kadar penyejukan dengan tepat, jongkong besar, kristal tunggal, hampir berbentuk silinder boleh dihasilkan daripada cairan tersebut.
Selepas jongkong nilam kristal tunggal ditumbuhkan, ia digerudi menjadi rod silinder, yang kemudiannya dipotong mengikut ketebalan tingkap yang dikehendaki dan akhirnya digilap mengikut kemasan permukaan yang dikehendaki.
Gambarajah Terperinci





