4H/6H-P 6inci SiC wafer Sifar MPD gred Pengeluaran Gred Dummy Gred
Substrat Komposit Jenis SiC 4H/6H-P Jadual parameter biasa
6 Substrat Silikon Karbida (SiC) diameter inci Spesifikasi
Gred | Pengeluaran MPD SifarGred (Z Gred) | Pengeluaran StandardGred (P Gred) | Gred Dummy (D Gred) | ||
Diameter | 145.5 mm~150.0 mm | ||||
Ketebalan | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientasi Wafer | -Offpaksi: 2.0°-4.0°ke arah [1120] ± 0.5° untuk 4H/6H-P, Pada paksi:〈111〉± 0.5° untuk 3C-N | ||||
Ketumpatan Mikropaip | 0 cm-2 | ||||
Kerintangan | p-jenis 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏsm | ≤0.3 Ωꞏsm | ||
n-jenis 3C-N | ≤0.8 mΩꞏsm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Orientasi Rata Utama | 4H/6H-P | -{1010} ± 5.0° | |||
3C-N | -{110} ± 5.0° | ||||
Panjang Rata Utama | 32.5 mm ± 2.0 mm | ||||
Panjang Rata Sekunder | 18.0 mm ± 2.0 mm | ||||
Orientasi Rata Menengah | Silikon menghadap ke atas: 90° CW. dari Prime flat ± 5.0° | ||||
Pengecualian Edge | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Bow /Warp | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Kekasaran | Poland Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
Tepi Retak Oleh Cahaya Intensiti Tinggi | tiada | Panjang kumulatif ≤ 10 mm, panjang tunggal≤2 mm | |||
Plat Hex Dengan Cahaya Intensiti Tinggi | Luas kumulatif ≤0.05% | Luas kumulatif ≤0.1% | |||
Kawasan Politaip Mengikut Cahaya Intensiti Tinggi | tiada | Luas terkumpul≤3% | |||
Kemasukan Karbon Visual | Luas kumulatif ≤0.05% | Luas kumulatif ≤3% | |||
Calar Permukaan Silikon Oleh Cahaya Intensiti Tinggi | tiada | Panjang kumulatif≤1×diameter wafer | |||
Cip Tepi Tinggi Dengan Keamatan Cahaya | Tiada yang dibenarkan ≥0.2mm lebar dan kedalaman | 5 dibenarkan, ≤1 mm setiap satu | |||
Pencemaran Permukaan Silikon Dengan Intensiti Tinggi | tiada | ||||
Pembungkusan | Kaset Berbilang Wafer atau Bekas Wafer Tunggal |
Nota:
※ Had kecacatan dikenakan pada keseluruhan permukaan wafer kecuali untuk kawasan pengecualian tepi. # Calar hendaklah diperiksa pada muka Si o
Wafer SiC 6-inci jenis 4H/6H-P dengan gred Zero MPD dan gred pengeluaran atau dummy digunakan secara meluas dalam aplikasi elektronik termaju. Kekonduksian haba yang sangat baik, voltan pecahan tinggi dan rintangan kepada persekitaran yang keras menjadikannya sesuai untuk elektronik kuasa, seperti suis dan penyongsang voltan tinggi. Gred Zero MPD memastikan kecacatan yang minimum, kritikal untuk peranti kebolehpercayaan tinggi. Wafer gred pengeluaran digunakan dalam pembuatan besar-besaran peranti kuasa dan aplikasi RF, di mana prestasi dan ketepatan adalah penting. Wafer gred dummy, sebaliknya, digunakan untuk penentukuran proses, ujian peralatan dan prototaip, membolehkan kawalan kualiti yang konsisten dalam persekitaran pengeluaran semikonduktor.
Kelebihan substrat komposit SiC jenis N termasuk
- Kekonduksian Terma Tinggi: Wafer SiC 4H/6H-P dengan cekap menghilangkan haba, menjadikannya sesuai untuk aplikasi elektronik suhu tinggi dan berkuasa tinggi.
- Voltan Kerosakan Tinggi: Keupayaannya untuk mengendalikan voltan tinggi tanpa kegagalan menjadikannya sesuai untuk elektronik kuasa dan aplikasi pensuisan voltan tinggi.
- Gred MPD Sifar (Kecacatan Paip Mikro).: Ketumpatan kecacatan minimum memastikan kebolehpercayaan dan prestasi yang lebih tinggi, kritikal untuk menuntut peranti elektronik.
- Gred Pengeluaran untuk Pembuatan Massa: Sesuai untuk pengeluaran besar-besaran peranti semikonduktor berprestasi tinggi dengan standard kualiti yang ketat.
- Gred Dummy untuk Pengujian dan Penentukuran: Mendayakan pengoptimuman proses, ujian peralatan dan prototaip tanpa menggunakan wafer gred pengeluaran kos tinggi.
Secara keseluruhannya, wafer SiC 6-inci 4H/6H-P dengan gred Zero MPD, gred pengeluaran dan gred dummy menawarkan kelebihan yang ketara untuk pembangunan peranti elektronik berprestasi tinggi. Wafer ini amat berfaedah dalam aplikasi yang memerlukan operasi suhu tinggi, ketumpatan kuasa tinggi dan penukaran kuasa yang cekap. Gred Zero MPD memastikan kecacatan minimum untuk prestasi peranti yang boleh dipercayai dan stabil, manakala wafer gred pengeluaran menyokong pembuatan berskala besar dengan kawalan kualiti yang ketat. Wafer gred dummy menyediakan penyelesaian kos efektif untuk pengoptimuman proses dan penentukuran peralatan, menjadikannya sangat diperlukan untuk fabrikasi semikonduktor berketepatan tinggi.