Wafer SiC Silicon Carbide 6 inci 150mm jenis 4H-N untuk Penyelidikan Pengeluaran MOS atau SBD dan gred Dummy
Medan Aplikasi
Substrat kristal tunggal silikon karbida 6 inci memainkan peranan penting dalam pelbagai industri.Pertama, ia digunakan secara meluas dalam industri semikonduktor untuk fabrikasi peranti elektronik berkuasa tinggi seperti transistor kuasa, litar bersepadu dan modul kuasa.Kekonduksian haba yang tinggi dan rintangan suhu tinggi membolehkan pelesapan haba yang lebih baik, menghasilkan kecekapan dan kebolehpercayaan yang lebih baik.Kedua, wafer silikon karbida adalah penting dalam bidang penyelidikan untuk pembangunan bahan dan peranti baharu.Selain itu, wafer silikon karbida menemui aplikasi yang meluas dalam bidang optoelektronik, termasuk pembuatan LED dan diod laser.
Spesifikasi Produk
Substrat kristal tunggal silikon karbida 6 inci mempunyai diameter 6 inci (kira-kira 152.4 mm).Kekasaran permukaan ialah Ra < 0.5 nm, dan ketebalannya ialah 600 ± 25 μm.Substrat boleh disesuaikan dengan sama ada kekonduksian jenis-N atau jenis-P, berdasarkan keperluan pelanggan.Selain itu, ia mempamerkan kestabilan mekanikal yang luar biasa, mampu menahan tekanan dan getaran.
| Diameter | 150±2.0mm（6inci） | ||||
| Ketebalan | 350 μm±25μm | ||||
| Orientasi | Pada paksi ： <0001>±0.5° | Paksi luar：4.0° ke arah 1120±0.5° | |||
| Politaip | 4H | ||||
| Kerintangan (Ω·cm) | 4H-N | 0.015~0.028 Ω·cm/0.015~0.025ohm·cm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| Orientasi rata utama | {10-10}±5.0° | ||||
| Panjang rata utama (mm) | 47.5 mm±2.5 mm | ||||
| Hujung | Chamfer | ||||
| TTV/Bow /Warp (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
| AFM Depan (Si-muka) | Poland Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.5 nm | |||||
| LTV | ≤3μm(10mm*10mm) | ≤5μm(10mm*10mm) | ≤10μm(10mm*10mm) | ||
| TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
| Kulit oren/lubang/retak/kontaminasi/noda/jalur | tiada | tiada | tiada | ||
| inden | tiada | tiada | tiada | ||
Substrat kristal tunggal silikon karbida 6 inci ialah bahan berprestasi tinggi yang digunakan secara meluas dalam industri semikonduktor, penyelidikan dan optoelektronik.Ia menawarkan kekonduksian haba yang sangat baik, kestabilan mekanikal dan rintangan suhu tinggi, menjadikannya sesuai untuk fabrikasi peranti elektronik berkuasa tinggi dan penyelidikan bahan baharu.Kami menyediakan pelbagai spesifikasi dan pilihan penyesuaian untuk memenuhi permintaan pelanggan yang pelbagai.Hubungi kami untuk maklumat lanjut tentang wafer silikon karbida!
Gambarajah Terperinci
