Substrat tuntutan semula dummy wafer silikon jenis-P/N (100) 1-100Ω 8 inci
Memperkenalkan kotak wafer
Wafer silikon 8 inci merupakan bahan substrat silikon yang biasa digunakan dan digunakan secara meluas dalam proses pembuatan litar bersepadu. Wafer silikon sedemikian biasanya digunakan untuk membuat pelbagai jenis litar bersepadu, termasuk mikropemproses, cip memori, sensor dan peranti elektronik lain. Wafer silikon 8 inci biasanya digunakan untuk membuat cip bersaiz agak besar, dengan kelebihan termasuk luas permukaan yang lebih besar dan keupayaan untuk membuat lebih banyak cip pada satu wafer silikon, yang membawa kepada peningkatan kecekapan pengeluaran. Wafer silikon 8 inci juga mempunyai sifat mekanikal dan kimia yang baik, yang sesuai untuk pengeluaran litar bersepadu berskala besar.
Ciri-ciri produk
Wafer silikon jenis P/N 8" yang digilap (25 keping)
Orientasi: 200
Kerintangan: 0.1 - 40 ohm•cm (Ia mungkin berbeza dari kelompok ke kelompok)
Ketebalan: 725+/-20um
Gred Utama/Monitor/Ujian
SIFAT-SIFAT BAHAN
| Parameter | Ciri-ciri |
| Jenis/Dopan | P, Boron N, Fosforus N, Antimoni N, Arsenik |
| Orientasi | <100>, <111> potong orientasi mengikut spesifikasi pelanggan |
| Kandungan Oksigen | 1019Toleransi tersuai ppmA mengikut spesifikasi pelanggan |
| Kandungan Karbon | < 0.6 ppmA |
SIFAT-SIFAT MEKANIKAL
| Parameter | Perdana | Pantau/Uji A | Ujian |
| Diameter | 200±0.2mm | 200 ± 0.2mm | 200 ± 0.5 mm |
| Ketebalan | 725±20µm (piawai) | 725±25µm (piawai) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725±50µm (piawai) |
| TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
| Busur | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
| Balut | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
| Pembundaran Tepi | SEMI-STD | ||
| Penandaan | Rumah Pangsa Semi-Flat Utama sahaja, Rumah Pangsa Semi-STD Jeida Flat, Notch | ||
| Parameter | Perdana | Pantau/Uji A | Ujian |
| Kriteria Bahagian Hadapan | |||
| Keadaan permukaan | Kimia Mekanikal Digilap | Kimia Mekanikal Digilap | Kimia Mekanikal Digilap |
| Kekasaran Permukaan | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° |
| Pencemaran Zarah@ >0.3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
| Jerebu, Lubang-lubang Kulit oren | Tiada | Tiada | Tiada |
| Gergaji, Tanda Striations | Tiada | Tiada | Tiada |
| Kriteria Bahagian Belakang | |||
| Retakan, kesan kaki gagak, kesan gergaji, kesan kotoran | Tiada | Tiada | Tiada |
| Keadaan permukaan | Kaustik terukir | ||
Gambarajah Terperinci





