Mesin Penggilap Ion Beam untuk nilam SiC Si

Mesin Penggilap Pancaran Ion untuk Imej Pilihan SiC Si nilam

Penerangan ringkas:

Mesin Pengiraan Rasuk Ion dan Penggilap adalah berdasarkan prinsipion sputtering. Di dalam ruang vakum tinggi, sumber ion menjana plasma, yang dipercepatkan menjadi pancaran ion bertenaga tinggi. Rasuk ini mengebom permukaan komponen optik, mengeluarkan bahan pada skala atom untuk mencapai pembetulan dan kemasan permukaan ultra-tepat.

Hantar e-mel kepada kami

Ciri-ciri

Gambarajah Terperinci

Gambaran Keseluruhan Produk Mesin Penggilap Ion Beam

Mesin Pengiraan dan Penggilap Rasuk Ion adalah berdasarkan prinsip percikan ion. Di dalam ruang vakum tinggi, sumber ion menjana plasma, yang dipercepatkan menjadi pancaran ion bertenaga tinggi. Rasuk ini mengebom permukaan komponen optik, mengeluarkan bahan pada skala atom untuk mencapai pembetulan dan kemasan permukaan ultra-tepat.

Sebagai proses tanpa sentuhan, penggilap pancaran ion menghilangkan tekanan mekanikal dan mengelakkan kerosakan bawah permukaan, menjadikannya ideal untuk menghasilkan optik berketepatan tinggi yang digunakan dalam astronomi, aeroangkasa, semikonduktor dan aplikasi penyelidikan lanjutan.

Prinsip Kerja Mesin Penggilap Pancaran Ion

Penjanaan Ion
Gas lengai (cth, argon) dimasukkan ke dalam ruang vakum dan diionkan melalui nyahcas elektrik untuk membentuk plasma.

Pecutan & Pembentukan Rasuk
Ion-ion dipercepatkan kepada beberapa ratus atau ribuan volt elektron (eV) dan dibentuk menjadi tempat pancaran fokus yang stabil.

Penyingkiran Bahan
Rasuk ion secara fizikal memancutkan atom dari permukaan tanpa memulakan tindak balas kimia.

Pengesanan Ralat & Perancangan Laluan
Sisihan angka permukaan diukur dengan interferometri. Fungsi penyingkiran digunakan untuk menentukan masa tinggal dan menjana laluan alat yang dioptimumkan.

Pembetulan Gelung Tertutup
Kitaran berulang pemprosesan dan pengukuran diteruskan sehingga sasaran ketepatan RMS/PV dicapai.

Ciri-ciri Utama Mesin Penggilap Ion Beam

Keserasian Permukaan Sejagat– Memproses permukaan rata, sfera, asfera dan bentuk bebas

Kadar Penyingkiran Sangat Stabil– Membolehkan pembetulan angka sub-nanometer

Pemprosesan Tanpa Kerosakan– Tiada kecacatan bawah permukaan atau perubahan struktur

Prestasi Konsisten– Berfungsi sama baik pada bahan dengan kekerasan yang berbeza-beza

Pembetulan Frekuensi Rendah/Sederhana– Menghapuskan ralat tanpa menghasilkan artifak frekuensi pertengahan/tinggi

Keperluan Penyelenggaraan Rendah– Operasi berterusan yang lama dengan masa henti yang minimum

Spesifikasi Teknikal Utama Mesin Penggilap Ion Beam

item	Spesifikasi
Kaedah Pemprosesan	Percikan ion dalam persekitaran vakum tinggi
Jenis Pemprosesan	Figura & penggilap permukaan tanpa sentuhan
Saiz Bahan Kerja Maks	Φ4000 mm
Kapak Gerakan	3-paksi / 5-paksi
Kestabilan Pembuangan	≥95%
Ketepatan Permukaan	PV < 10 nm; RMS ≤ 0.5 nm (RMS biasa < 1 nm; PV < 15 nm)
Keupayaan Pembetulan Frekuensi	Mengalih keluar ralat frekuensi rendah-sederhana tanpa memperkenalkan ralat frekuensi pertengahan/tinggi
Operasi Berterusan	3-5 minggu tanpa penyelenggaraan vakum
Kos Penyelenggaraan	rendah

Keupayaan Memproses Mesin Penggilap Pancaran Ion

Jenis Permukaan yang Disokong

Mudah: Rata, sfera, prisma

Kompleks: Asfera simetri/asimetri, asfera luar paksi, silinder

Istimewa: Optik ultra nipis, optik slat, optik hemisfera, optik konformal, plat fasa, permukaan bentuk bebas

Bahan yang Disokong

Kaca optik: Kuarza, mikrokristalin, K9, dsb.

Bahan inframerah: Silikon, germanium, dll.

Logam: Aluminium, keluli tahan karat, aloi titanium, dll.

Kristal: YAG, karbida silikon kristal tunggal, dsb.

Bahan keras/rapuh: Silikon karbida, dsb.

Kualiti / Ketepatan Permukaan

PV < 10 nm

RMS ≤ 0.5 nm

Memproses Kajian Kes Mesin Penggilap Rasuk Ion

Kes 1 – Cermin Rata Standard

Bahan kerja: D630 mm kuarza rata

Keputusan: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm

Kes 2 – Cermin Reflektif X-ray

Bahan kerja: 150 × 30 mm silikon rata

Keputusan: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; Cerun 0.13 µrad

Kes 3 – Cermin Luar Paksi

Bahan kerja: D326 mm cermin tanah luar paksi

Keputusan: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm

Soalan Lazim Cermin Mata Kuarza

Soalan Lazim – Mesin Penggilap Rasuk Ion

S1: Apakah penggilap rasuk ion?
A1:Penggilapan pancaran ion ialah proses tanpa sentuhan yang menggunakan pancaran ion terfokus (seperti ion argon) untuk mengeluarkan bahan daripada permukaan bahan kerja. Ion-ion dipercepatkan dan diarahkan ke permukaan, menyebabkan penyingkiran bahan peringkat atom, menghasilkan kemasan ultra-licin. Proses ini menghapuskan tekanan mekanikal dan kerosakan bawah permukaan, menjadikannya sesuai untuk komponen optik ketepatan.

S2: Apakah jenis permukaan yang boleh diproses oleh Mesin Penggilap Ion Beam?
A2:TheMesin Penggilap Ion Beamboleh memproses pelbagai permukaan, termasuk komponen optik mudah sepertirata, sfera dan prisma, serta geometri kompleks sepertiasfera, asfera luar paksi, danpermukaan bentuk bebas. Ia amat berkesan pada bahan seperti kaca optik, optik inframerah, logam dan bahan keras/rapuh.

S3: Apakah bahan yang boleh digunakan oleh Mesin Penggilap Ion Beam?
A3:TheMesin Penggilap Ion Beamboleh menggilap pelbagai jenis bahan, termasuk:

Kaca optik: Kuarza, mikrokristalin, K9, dsb.
Bahan inframerah: Silikon, germanium, dll.
logam: Aluminium, keluli tahan karat, aloi titanium, dsb.
Bahan kristal: YAG, karbida silikon kristal tunggal, dsb.
Bahan keras/rapuh lain: Silikon karbida, dsb.

Tentang Kami

XKH pakar dalam pembangunan berteknologi tinggi, pengeluaran dan penjualan kaca optik khas dan bahan kristal baharu. Produk kami menyediakan perkhidmatan elektronik optik, elektronik pengguna dan ketenteraan. Kami menawarkan komponen optik Sapphire, penutup kanta telefon mudah alih, Seramik, LT, Silicon Carbide SIC, Kuarza dan wafer kristal semikonduktor. Dengan kepakaran mahir dan peralatan canggih, kami cemerlang dalam pemprosesan produk bukan standard, menyasarkan untuk menjadi perusahaan teknologi tinggi bahan optoelektronik terkemuka.