Wafer LiTaO3 2 inci-8 inci 10x10x0.5 mm 1sp 2sp untuk Komunikasi 5G/6G
Parameter teknikal
Nama | LiTaO3 gred optik | Aras jadual bunyi LiTaO3 |
paksi | Potongan Z + / - 0.2 ° | Potongan 36 ° Y / potongan 42 ° Y / potong X (+ / - 0.2 °) |
Diameter | 76.2mm + / - 0.3mm/ 100±0.2mm | 76.2mm + /-0.3mm 100mm + /-0.3mm 0r 150±0.5mm |
Pesawat datum | 22mm + / - 2mm | 22mm + /-2mm 32mm + /-2mm |
Ketebalan | 500um + /-5mm 1000um + /-5mm | 500um + /-20mm 350um + /-20mm |
TTV | ≤ 10um | ≤ 10um |
Suhu kari | 605 °C + / - 0.7 °C (kaedah DTA) | 605 °C + / -3 °C (kaedah DTA |
Kualiti permukaan | Penggilap dua muka | Penggilap dua muka |
Tepi bercekak | pembulatan tepi | pembulatan tepi |
Ciri-ciri Utama
1. Prestasi Elektrik dan Optik
· Pekali Elektro-Optik: r33 mencapai 30 petang/V (potongan X), 1.5× lebih tinggi daripada LiNbO3, membolehkan modulasi elektro-optik jalur lebar ultra (>40 GHz lebar jalur).
· Tindak Balas Spektrum Luas: Julat penghantaran 0.4–5.0 μm (ketebalan 8 mm), dengan tepi penyerapan ultraviolet serendah 280 nm, sesuai untuk laser UV dan peranti titik kuantum.
· Pekali Piroelektrik Rendah: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K), memastikan kestabilan dalam penderia inframerah suhu tinggi.
2. Sifat Terma dan Mekanikal
· Kekonduksian Terma Tinggi: 4.6 W/m·K (potongan X), empat kali ganda daripada kuarza, mengekalkan kitaran haba -200–500°C.
· Pekali Pengembangan Terma Rendah: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C), serasi dengan pembungkusan silikon untuk meminimumkan tekanan terma.
3. Kawalan Kecacatan dan Ketepatan Pemprosesan
· Ketumpatan Mikropaip: <0.1 cm⁻² (wafer 8 inci), ketumpatan terkehel <500 cm⁻² (disahkan melalui goresan KOH).
· Kualiti Permukaan: CMP digilap hingga Ra <0.5 nm, memenuhi keperluan kerataan gred litografi EUV.
Aplikasi Utama
Domain | Senario Aplikasi | Kelebihan Teknikal |
Komunikasi Optik | Laser DWDM 100G/400G, modul hibrid fotonik silikon | Penghantaran spektrum luas wafer LiTaO3 dan kehilangan pandu gelombang rendah (α <0.1 dB/cm) membolehkan pengembangan jalur-C. |
Komunikasi 5G/6G | Penapis SAW (1.8–3.5 GHz), penapis BAW-SMR | Wafer 42°Y-cut mencapai Kt² >15%, memberikan kehilangan sisipan yang rendah (<1.5 dB) dan roll-off yang tinggi (>30 dB). |
Teknologi Kuantum | Pengesan foton tunggal, sumber penukaran bawah parametrik | Pekali tak linear tinggi (χ(2)=40 pm/V) dan kadar kiraan gelap rendah (<100 kiraan/s) meningkatkan kesetiaan kuantum. |
Penderiaan Industri | Penderia tekanan suhu tinggi, pengubah semasa | Tindak balas piezoelektrik wafer LiTaO3 (g33 >20 mV/m) dan toleransi suhu tinggi (>400°C) sesuai dengan persekitaran yang melampau. |
Perkhidmatan XKH
1. Fabrikasi Wafer Tersuai
· Saiz dan Potongan: Wafer 2–8 inci dengan potongan X/Y/Z, potongan 42°Y dan potongan sudut tersuai (toleransi ±0.01°).
· Kawalan Doping: Doping Fe, Mg melalui kaedah Czochralski (julat kepekatan 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) untuk mengoptimumkan pekali elektro-optik dan kestabilan terma.
2. Teknologi Proses Termaju
'
· Pengulangan Berkala (PPLT): Teknologi Pintar-Potong untuk wafer LTOI, mencapai ketepatan tempoh domain ±10 nm dan penukaran frekuensi sepadanan fasa (QPM).
· Integrasi Heterogen: Wafer komposit LiTaO3 berasaskan Si (POI) dengan kawalan ketebalan (300–600 nm) dan kekonduksian terma sehingga 8.78 W/m·K untuk penapis SAW frekuensi tinggi.
3.Sistem Pengurusan Kualiti
'
· Ujian Hujung-ke-Hujung: Spektroskopi Raman (pengesahan politaip), XRD (kehabluran), AFM (morfologi permukaan), dan ujian keseragaman optik (Δn <5×10⁻⁵).
4. Sokongan Rantaian Bekalan Global
'
· Kapasiti Pengeluaran: Keluaran bulanan >5,000 wafer (8 inci: 70%), dengan penghantaran kecemasan 48 jam.
· Rangkaian Logistik: Liputan di Eropah, Amerika Utara dan Asia-Pasifik melalui pengangkutan udara/laut dengan pembungkusan terkawal suhu.


