Substrat SiC 3 inci 350um ketebalan HPSI jenis Gred Perdana Gred Dummy
Hartanah
Parameter | Gred Pengeluaran | Gred Penyelidikan | Gred Dummy | Unit |
Gred | Gred Pengeluaran | Gred Penyelidikan | Gred Dummy | |
Diameter | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | mm |
Ketebalan | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
Orientasi Wafer | Pada paksi: <0001> ± 0.5° | Pada paksi: <0001> ± 2.0° | Pada paksi: <0001> ± 2.0° | ijazah |
Ketumpatan Mikropaip (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm−2^-2−2 |
Kerintangan Elektrik | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·cm |
Dopan | Dinyahdop | Dinyahdop | Dinyahdop | |
Orientasi Rata Utama | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | ijazah |
Panjang Rata Utama | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | mm |
Panjang Rata Sekunder | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | mm |
Orientasi Rata Menengah | 90° CW dari flat primer ± 5.0° | 90° CW dari flat primer ± 5.0° | 90° CW dari flat primer ± 5.0° | ijazah |
Pengecualian Edge | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV/TTV/Bow/Warp | 3 / 10 / ±30 / 40 | 3 / 10 / ±30 / 40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | µm |
Kekasaran Permukaan | Muka-Si: CMP, Muka-C: Digilap | Muka-Si: CMP, Muka-C: Digilap | Muka-Si: CMP, Muka-C: Digilap | |
Retak (Cahaya Keamatan Tinggi) | tiada | tiada | tiada | |
Plat Hex (Cahaya Keamatan Tinggi) | tiada | tiada | Kawasan kumulatif 10% | % |
Kawasan Politaip (Cahaya Berintensiti Tinggi) | Kawasan kumulatif 5% | Kawasan kumulatif 20% | Kawasan kumulatif 30% | % |
Calar (Cahaya Berintensiti Tinggi) | ≤ 5 calar, panjang terkumpul ≤ 150 | ≤ 10 calar, panjang kumulatif ≤ 200 | ≤ 10 calar, panjang kumulatif ≤ 200 | mm |
Cincang Tepi | Tiada ≥ 0.5 mm lebar/dalam | 2 dibenarkan ≤ 1 mm lebar/dalam | 5 dibenarkan ≤ 5 mm lebar/dalam | mm |
Pencemaran Permukaan | tiada | tiada | tiada |
Aplikasi
1. Elektronik Berkuasa Tinggi
Kekonduksian terma yang unggul dan jurang jalur lebar bagi wafer SiC menjadikannya sesuai untuk peranti berkuasa tinggi dan frekuensi tinggi:
●MOSFET dan IGBT untuk penukaran kuasa.
●Sistem kuasa kenderaan elektrik lanjutan, termasuk penyongsang dan pengecas.
●Infrastruktur grid pintar dan sistem tenaga boleh diperbaharui.
2. Sistem RF dan Microwave
Substrat SiC membolehkan aplikasi RF dan gelombang mikro frekuensi tinggi dengan kehilangan isyarat yang minimum:
●Sistem telekomunikasi dan satelit.
●Sistem radar aeroangkasa.
●Komponen rangkaian 5G lanjutan.
3. Optoelektronik dan Penderia
Sifat unik SiC menyokong pelbagai aplikasi optoelektronik:
●Pengesan UV untuk pemantauan alam sekitar dan penderiaan industri.
● Substrat LED dan laser untuk pencahayaan keadaan pepejal dan instrumen ketepatan.
●Penderia suhu tinggi untuk industri aeroangkasa dan automotif.
4. Penyelidikan dan Pembangunan
Kepelbagaian gred (Pengeluaran, Penyelidikan, Dummy) membolehkan percubaan termaju dan prototaip peranti dalam akademik dan industri.
Kelebihan
●Kebolehpercayaan:Kerintangan dan kestabilan yang sangat baik merentas gred.
●Penyesuaian:Orientasi dan ketebalan yang disesuaikan untuk memenuhi keperluan yang berbeza.
●Ketulenan Tinggi:Komposisi tidak didop memastikan variasi berkaitan kekotoran yang minimum.
●Skalabilitas:Memenuhi keperluan kedua-dua pengeluaran besar-besaran dan penyelidikan eksperimen.
Wafer SiC ketulenan tinggi 3 inci ialah pintu masuk anda kepada peranti berprestasi tinggi dan kemajuan teknologi yang inovatif. Untuk pertanyaan dan spesifikasi terperinci, hubungi kami hari ini.
Ringkasan
Wafer Silikon Karbida (SiC) Ketulenan Tinggi 3 inci, tersedia dalam Gred Pengeluaran, Penyelidikan dan Dummy, adalah substrat premium yang direka untuk elektronik berkuasa tinggi, sistem RF/gelombang mikro, optoelektronik dan R&D lanjutan. Wafer ini bercirikan sifat separa penebat tidak terdop dengan kerintangan yang sangat baik (≥1E10 Ω·cm untuk Gred Pengeluaran), ketumpatan mikropaip rendah (≤1 cm−2^-2−2), dan kualiti permukaan yang luar biasa. Ia dioptimumkan untuk aplikasi berprestasi tinggi, termasuk penukaran kuasa, telekomunikasi, penderiaan UV dan teknologi LED. Dengan orientasi yang boleh disesuaikan, kekonduksian terma yang unggul dan sifat mekanikal yang teguh, wafer SiC ini membolehkan fabrikasi peranti yang cekap, boleh dipercayai dan inovasi terobosan merentas industri.