4 inci 6 inci Lithium niobate filem kristal tunggal LNOI wafer
Proses penyediaan bahan LNOI terutamanya dibahagikan kepada empat langkah berikut
(1) Ion dia disuntik ke dalam bahan litium niobate potong X pada tenaga tertentu, dan dimasukkan ke dalam lapisan kecacatan pada kedalaman tertentu di bawah lapisan permukaan litium niobate;
(2) Bahan litium niobate yang ditanam ion diikat pada substrat silikon dengan lapisan oksida untuk membentuk struktur ikatan;
(3) Struktur ikatan telah disepuhlindapkan untuk membuat kecacatan yang diperkenalkan oleh implantasi ion He berkembang dan beragregat untuk membentuk keretakan. Akhir sekali, litium niobate diasingkan di sepanjang lapisan kecacatan untuk membentuk baki hirisan litium niobate dan wafer LNOI.
Aplikasi dan kelebihan wafer LNOI
1--Filem piezoelektrik litium niobate (LNOI) mempunyai pekali piezoelektrik yang tinggi dan pemalar dielektrik, yang boleh menukar tenaga mekanikal kepada tenaga elektrik atau tenaga elektrik kepada tenaga mekanikal. Oleh itu, ia digunakan secara meluas dalam bidang sensor, seperti sensor tekanan, sensor pecutan, sensor suhu dan sebagainya. Di samping itu, filem piezoelektrik litium niobate juga boleh digunakan dalam peranti akustik dan peranti getaran, seperti penapis seramik piezoelektrik kompleks transduser seramik piezoelektrik.
2-Kestabilan filem piezoelektrik lithium niobate juga merupakan salah satu kelebihannya. Disebabkan oleh kestabilan struktur kristal dan lengai kimia, filem piezoelektrik lithium niobate boleh berfungsi dalam suhu tinggi, kelembapan tinggi, asid kuat, alkali kuat dan persekitaran keras yang lain, dengan rintangan kakisan dan ketahanan yang baik.
Filem piezoelektrik 3-Lithium niobate ialah bahan piezoelektrik baharu dengan prestasi dan kestabilan yang sangat baik, dan mempunyai prospek aplikasi yang luas. Dengan pembangunan berterusan sains dan teknologi, filem piezoelektrik lithium niobate akan digunakan di lebih banyak bandar, membawa lebih banyak kemudahan dan inovasi kepada kehidupan orang ramai